సెమీకండక్టర్ కోసం సిరామిక్ ఫోకస్ రింగ్స్

సెమికోరెక్స్ సిరామిక్దృష్టి రింగ్సెమీకండక్టర్ కోసం s కఠినమైన ప్లాస్మా ఎచింగ్ ఆపరేటింగ్ పరిస్థితులకు అనుగుణంగా ఆదర్శవంతమైన పరిష్కారాలు. అధునాతన సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్ ప్రక్రియలో, ప్లాస్మా పంపిణీని ఖచ్చితంగా నియంత్రించడం చాలా ముఖ్యం, ఇది ఎచింగ్ ఛాంబర్ స్థిరత్వం మరియు స్థిరమైన సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్ ఏకరూపతను నిర్ధారిస్తుంది. అధునాతన ఎచింగ్ పరికరాలలో ఉపయోగించే అనివార్య భాగాలుగా, ఫోకస్ రింగ్‌లు సాధారణంగా సెమీకండక్టర్ పొరల చుట్టూ ఉంచబడతాయి మరియు వాటితో ప్రత్యక్ష సంబంధంలోకి వస్తాయి. ఫోకస్ రింగ్‌ల పనితీరు ప్రక్రియ పునరావృతత, ఉత్పత్తి దిగుబడి మరియు పరికరాల సమయ వ్యవధిపై ప్రత్యక్ష ప్రభావాలను చూపుతుంది.

సెమీకండక్టర్ కోసం సెమికోరెక్స్ సిరామిక్ ఫోకస్ రింగుల ప్రయోజనాలు

1.అల్ట్రా-హై మెటీరియల్ స్వచ్ఛత

మన స్వచ్ఛతCVD SiCపదార్థం 99.9995% మించిపోయింది. ఇది తగినంత మెటీరియల్ స్వచ్ఛత కారణంగా ఎచింగ్ ఛాంబర్ మరియు సెమీకండక్టర్ పొరల కాలుష్యాన్ని సమర్థవంతంగా నిరోధించవచ్చు.

2.Exceptional తుప్పు నిరోధకత

సెమీకండక్టర్ కోసం సెమికోరెక్స్ సిరామిక్ ఫోకస్ రింగ్‌లు CVD SiC నుండి తయారు చేయబడ్డాయి, ఇవి ఆక్సీకరణ, కోత మరియు రసాయన తుప్పుకు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను కలిగి ఉంటాయి, HF మరియు HCI, అలాగే ప్లాస్మా గ్యాస్ వంటి ప్రక్రియ వాయువులకు వ్యతిరేకంగా ప్రత్యేకంగా ప్రభావవంతంగా ఉంటాయి.

3.సుపీరియర్ రెసిస్టెన్స్ పనితీరు

సెమీకండక్టర్ కోసం సెమికోరెక్స్ సిరామిక్ ఫోకస్ రింగుల నిరోధక ఏకరూపత 5% కంటే తక్కువ.

రెసిస్టివిటీ పరిధులు: తక్కువ రెసిస్టెంట్. (<0.02 Ω·cm), మిడిల్ Res. (0.2–25 Ω·cm), అధిక Res. (>100 Ω·cm).

సెమీకండక్టర్ కోసం సెమికోరెక్స్ సిరామిక్ ఫోకస్ రింగ్స్ యొక్క విధులు

1.ఎడ్జ్ ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్ మరియు ప్లాస్మా డిస్ట్రిబ్యూషన్‌ను నియంత్రించండి మరియు ఏకరీతిగా చేయండి

సెమీకండక్టర్ కోసం సెమీకోరెక్స్ సిరామిక్ ఫోకస్ రింగ్‌లు ఎచింగ్ చాంబర్ లోపల ఎలెక్ట్రిక్ ఫీల్డ్ పంపిణీని నియంత్రిస్తాయి మరియు సెమీకండక్టర్ పొరల చుట్టూ మరింత ఏకరీతి ప్లాస్మా షీత్‌ను సాధించగలవు, ప్లాస్మా పొర ఉపరితలంపై నిలువుగా మరియు ఏకరీతిలో చొరబడటానికి వీలు కల్పిస్తుంది. ఈ విధంగా, ఎచింగ్ ఎడ్జ్ ప్రభావాన్ని బాగా తగ్గించవచ్చు మరియు ఎచింగ్ ఖచ్చితత్వాన్ని గణనీయంగా మెరుగుపరచవచ్చు.

2.ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌ను రక్షించండి

ఎచింగ్ ప్రక్రియలో ఫోకస్ రింగుల రక్షణ లేకుండా, ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ అధిక-శక్తి ప్లాస్మా యొక్క బాంబు దాడి మరియు కోతకు గురవుతుంది. ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌లు చాలా ఎక్కువ రీప్లేస్‌మెంట్ ఖర్చుతో అధిక-ధర పదార్థాలతో తయారు చేయబడ్డాయి. ఫోకస్ రింగ్‌లను ఉపయోగించడం వల్ల ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌పై ప్లాస్మా తుప్పును సమర్థవంతంగా తగ్గించవచ్చు మరియు ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ యొక్క నిర్వహణ మరియు భర్తీ ఖర్చులను తగ్గించవచ్చు.