డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్

డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్ సాధారణంగా అధిక-స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ లేదా SiC నుండి తయారు చేయబడుతుంది, ఈ రెండూ అసాధారణమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు రసాయన ప్రతిచర్యలకు నిరోధకతను ప్రదర్శిస్తాయి. ఇది చాలా ముఖ్యం ఎందుకంటే డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్ ప్రాసెస్ చేయబడే సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్‌లలో మలినాలను ప్రవేశపెట్టకూడదు. కల్పిత సెమీకండక్టర్ పరికరాల పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతపై స్వల్పంగా ఉన్న మలినాలు కూడా గణనీయమైన హానికరమైన ప్రభావాలను కలిగి ఉంటాయి.

డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌ను నిర్మించడంలో ఉపయోగించే పదార్థాలు ప్రాసెసింగ్ సమయంలో సెమీకండక్టర్ పొరల కలుషితాన్ని నిరోధించడానికి వాటి అధిక స్వచ్ఛత కోసం ఎంపిక చేయబడతాయి. డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్ సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ సమయంలో ఎదురయ్యే విపరీతమైన ఉష్ణోగ్రతలను దాని నిర్మాణ సమగ్రతను వైకల్యం చేయకుండా లేదా రాజీ పడకుండా తట్టుకుంటుంది. ఇది సుదీర్ఘమైన ఆపరేషన్లో స్థిరమైన మరియు విశ్వసనీయ పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది. థర్మల్ స్టెబిలిటీతో పాటు, డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్ సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో ఉపయోగించే రసాయనాలు మరియు వాయువుల తినివేయు ప్రభావాలకు కూడా నిరోధకతను ప్రదర్శిస్తుంది. ఇది కాలక్రమేణా ట్యూబ్ యొక్క క్షీణతను నిరోధిస్తుంది మరియు దీర్ఘాయువును నిర్ధారిస్తుంది.

కొన్ని డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లు వాటి పనితీరును మరింత మెరుగుపరచడానికి లేదా కాలుష్యం లేదా రసాయన ప్రతిచర్యల నుండి అదనపు రక్షణను అందించడానికి ప్రత్యేకమైన పదార్థాలతో తయారు చేసిన లైనర్‌లను కలిగి ఉండవచ్చు. ట్యూబ్ మెటీరియల్ యొక్క లక్షణాలను మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియ యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలను పూర్తి చేయడానికి ఈ లైనర్లు జాగ్రత్తగా ఎంపిక చేయబడతాయి.