క్షితిజంట్ చాంబర్ కొలిమి కొలిమి

సెమికోరెక్స్ క్షితిజ సమాంతర గది కొలిమి SIC బోట్లు ఒక క్షితిజ సమాంతర గది కొలిమిలో అధిక-ఉష్ణోగ్రత థర్మల్ ప్రాసెసింగ్‌కు గురైనప్పుడు పొరలు లేదా ఉపరితలాలను కలిగి ఉన్న మరియు తీసుకువెళ్ళే అత్యంత ఇంజనీరింగ్ భాగం. పొర పడవ అధిక-స్వచ్ఛత sic బంధంతో తయారు చేయబడింది సిలికన్ బొబ్బ, ఇది సెమీకండక్టర్, ఫోటోవోల్టాయిక్ మరియు అధునాతన సిరామిక్స్ ప్రక్రియలలో డిమాండ్ చేయబడిన బలం, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు అధిక రసాయన నిరోధకత యొక్క ప్రత్యేకమైన కలయికను అందిస్తుంది. పొర పడవలో పొరలను ఉంచడానికి ఒక కఠినమైన నిర్మాణంగా కూడా పనిచేస్తుంది, డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీ మరియు పొరల యొక్క ఖచ్చితత్వం తీవ్రమైన ప్రక్రియ ఉష్ణోగ్రతలకు విస్తరించిన బహిర్గతం ద్వారా కోల్పోదు.

సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క ఉన్నతమైన లక్షణాలు క్వార్ట్జ్ లేదా అల్యూమినా వంటి పొర పడవలకు విలక్షణమైన పదార్థాలతో పోలిస్తే క్షితిజ సమాంతర గది కొలిమి కొలిమి బోట్లకు ఉన్నతమైన పనితీరు ప్రయోజనాన్ని అందిస్తాయి. థర్మల్ చక్రం యొక్క తాపన మరియు శీతలీకరణ లేదా విపరీతమైన వేగంతో సంబంధం లేకుండా, వాటి అధిక ద్రవీభవన స్థానం, థర్మల్ షాక్ నిరోధకత మరియు యాంత్రిక బలం కారణంగా అవి అరుదుగా స్వల్పకాలిక తాపన మరియు శీతలీకరణ చక్రాలను బాగా తట్టుకోగలవు. క్షితిజ సమాంతర కొలిమి పూర్తిగా పొరల స్థానాల యొక్క స్థిరత్వం మరియు ప్రక్రియ పరిస్థితుల బహిర్గతం మీద ఆధారపడి ఉంటుంది కాబట్టి, పొరల యొక్క సరైన అమరిక స్థిరమైన ప్రక్రియ దిగుబడి మరియు పునరావృతతను అందిస్తుంది. థర్మల్ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం అంటే పడవ దాని జీవితాన్ని వక్రీకరించదు మరియు పొరల యొక్క ఆకారం మరియు అంతరాన్ని అందిస్తుంది.

పున ry స్థాపించబడిన SIC యొక్క చక్కటి-కణిత, దట్టమైన నిర్మాణం ప్రాసెస్ వాయువులు మరియు ఉపఉత్పత్తుల ద్వారా ఆక్సీకరణ, తుప్పు మరియు కలుషితానికి గొప్ప నిరోధకతను అందిస్తుంది. ఇది వ్యాప్తి, ఆక్సీకరణ, ఎల్‌పిసివిడి మరియు ఎనియలింగ్ వంటి దూకుడు వాతావరణాలలో ప్రక్రియలకు పడవను ప్రత్యేకంగా ప్రయోజనకరంగా చేస్తుంది. SIC యొక్క అధిక రసాయన జడత్వం పొర ఉపరితలాలతో ప్రతిచర్యలను నివారిస్తుంది, తద్వారా ఉత్పత్తి స్వచ్ఛతను కాపాడుతుంది మరియు కొలిమిలో కణ తరాన్ని తగ్గిస్తుంది. SIC పడవలు కఠినమైన పరిశుభ్రత డిమాండ్లను తీర్చాల్సిన తయారీదారులకు సహాయపడతాయి, క్లీనర్ ప్రాసెసింగ్ వాతావరణాలను మరియు మెరుగైన పొర నాణ్యతను అందిస్తాయి.

ఈ పడవలను వివిధ సంక్లిష్ట జ్యామితి మరియు పార్ట్-స్పెసిఫిక్ కొలతలు ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్ మరియు ఏర్పడే పద్ధతులతో ఉత్పత్తి చేయవచ్చు. డిజైన్లు సాధారణంగా బహుళ సమాంతర స్లాట్లు/పొడవైన కమ్మీలను ఉపయోగిస్తాయి, పొరలను సురక్షితంగా క్షితిజ సమాంతర ధోరణిలో ఉంచడానికి మరియు మొత్తం పొర ఉపరితలాన్ని ఉష్ణ పరిస్థితులకు ఒకే విధంగా బహిర్గతం చేస్తాయి. స్లాట్-టు-స్లాట్ అంతరం మరియు కోణాలను 150 మిమీ, 200 మిమీ, లేదా 300 మిమీ వంటి ఇతర వ్యాసాల పొరలకు సరిపోయేలా ఆప్టిమైజ్ చేయవచ్చు మరియు ప్రాసెసింగ్ ప్రభావాల సమయంలో ప్రత్యక్ష వాయు ప్రవాహం ప్రాసెసింగ్ కోసం ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపతను సాధిస్తుంది.

క్షితిజ సమాంతర ఛాంబర్ కొలిమి కొలిమిని ప్రామాణిక నిష్క్రమణలలో రూపొందించడమే కాకుండా, ఆటోమేటెడ్ పొర లోడర్‌లతో పనిచేయడానికి వీటిని రూపొందించవచ్చు, దీని ఫలితంగా ఆధునిక హై-త్రూపుట్ ఉత్పత్తి మార్గాల్లో అతుకులు ఏకీకరణ జరుగుతుంది. బలమైన రూపకల్పన కూడా పడవలను చిప్ చేయడానికి లేదా హ్యాండ్లింగ్ సమయంలో విచ్ఛిన్నం చేసే అవకాశం తక్కువ చేస్తుంది మరియు సమయ వ్యవధి మరియు పున ments స్థాపన కోసం ఖర్చులను తగ్గిస్తుంది.

యొక్క ఉష్ణ వాహకతసిలికాన్ కార్బైడ్పొరలు మరియు కొలిమి వాతావరణం మధ్య సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీని సులభతరం చేసే మరొక ముఖ్య ప్రయోజనాన్ని సూచిస్తుంది. ప్రయోజనం ఏమిటంటే, తయారీదారులు మరింత ఏకరీతి ప్రాసెసింగ్ పరిస్థితులను సాధించగలరు మరియు చక్ర సమయాన్ని తగ్గించగలుగుతారు, ఇది ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని పెంచుతుంది. SIC పడవలు సెమీకండక్టర్ పొర కల్పన, సౌర ఘట తయారీ లేదా ఎత్తైన ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ప్రాసెసింగ్ చేసే ఇతర అధునాతన పదార్థాల కోసం స్థిరమైన మరియు పునరావృత ఫలితాలను అందిస్తాయి.

సారాంశంలో, అధిక-పనితీరు, దీర్ఘకాలిక మరియు కాలుష్యం-నిరోధక పొర క్యారియర్‌లతో పొరలను ఉత్పత్తి చేయాలని చూస్తున్న తయారీదారులకు క్షితిజ సమాంతర గది కొలిమి కొలిమి కొలిమి కొలిమి SIC పడవలు కీలకమైన భాగం. ఇది యాంత్రిక బలం, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు రసాయన జడత్వం కలిగి ఉంది, ఇది క్షితిజ సమాంతర కొలిమిల అనువర్తనాలలో అసమానంగా ఉంటుంది. సిలికాన్ కార్బైడ్ పడవలను ఎంచుకోవడం ద్వారా, ఆపరేటర్లు మెరుగైన ప్రాసెస్ నియంత్రణ, అధిక దిగుబడిని మరియు నిర్వహణ కారణంగా కార్యాచరణ అంతరాయాలను తగ్గించవచ్చు. మొత్తంమీద ఇది మరింత సమర్థవంతమైన, తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన నిర్మాణాలను అందిస్తుంది.