సెమికోరెక్స్ యొక్క ICP ఎచింగ్ వేఫర్ హోల్డర్ అనేది ఎపిటాక్సీ మరియు MOCVD వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత పొర నిర్వహణ ప్రక్రియలకు సరైన పరిష్కారం. 1600°C వరకు స్థిరమైన, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకతతో, మా క్యారియర్లు థర్మల్ ప్రొఫైల్లు, లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాలను కూడా నిర్ధారిస్తాయి మరియు కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాప్తి చేయడాన్ని నివారిస్తాయి.
మీ ఎపిటాక్సీ పరికరాల కోసం వేఫర్ క్యారియర్ల నమ్మకమైన సరఫరాదారు కోసం వెతుకుతున్నారా? సెమికోరెక్స్ కంటే ఎక్కువ చూడండి. మా ICP ఎచింగ్ వేఫర్ హోల్డర్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత, కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ పరిసరాల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. చక్కటి SiC క్రిస్టల్ పూతతో, మా క్యారియర్లు అత్యుత్తమ ఉష్ణ నిరోధకతను అందిస్తాయి, ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను కూడా అందిస్తాయి.
మా ICP ఎచింగ్ వేఫర్ హోల్డర్ ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాపించకుండా నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.
మా ICP ఎచింగ్ వేఫర్ హోల్డర్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
ICP ఎచింగ్ వేఫర్ హోల్డర్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
ICP ఎచింగ్ వేఫర్ హోల్డర్ యొక్క లక్షణాలు
- పై తొక్కను నివారించండి మరియు అన్ని ఉపరితలంపై పూత ఉండేలా చూసుకోండి
అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత: 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది
అధిక స్వచ్ఛత: అధిక ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది.
తుప్పు నిరోధకత: అధిక కాఠిన్యం, దట్టమైన ఉపరితలం మరియు చక్కటి కణాలు.
తుప్పు నిరోధకత: యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలు.
- ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించండి
- థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వానికి హామీ ఇవ్వండి
- ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలు వ్యాప్తి చెందకుండా నిరోధించండి