ప్రేరక-కపుల్డ్ ప్లాస్మా (ICP)

ఇండక్టివ్లీ-కపుల్డ్ ప్లాస్మా (ICP) కోసం సెమికోరెక్స్ యొక్క సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ ఎపిటాక్సీ మరియు MOCVD వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత పొర నిర్వహణ ప్రక్రియల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. 1600°C వరకు స్థిరమైన, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకతతో, మా క్యారియర్లు థర్మల్ ప్రొఫైల్‌లు, లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాలను కూడా నిర్ధారిస్తాయి మరియు కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాప్తి చేయడాన్ని నివారిస్తాయి.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

అధిక-ఉష్ణోగ్రత, కఠినమైన రసాయన వాతావరణాలను నిర్వహించగల పొర క్యారియర్ కావాలా? ఇండక్టివ్లీ-కపుల్డ్ ప్లాస్మా (ICP) కోసం సెమికోరెక్స్ యొక్క సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ కంటే ఎక్కువ వెతకకండి. మా క్యారియర్‌లు చక్కటి SiC క్రిస్టల్ కోటింగ్‌ను కలిగి ఉంటాయి, ఇది అత్యుత్తమ ఉష్ణ నిరోధకత, ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను అందిస్తుంది.
ఇండక్టివ్లీ-కపుల్డ్ ప్లాస్మా (ICP) కోసం మా SiC ససెప్టర్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.

ఇండక్టివ్లీ-కపుల్డ్ ప్లాస్మా (ICP) కొరకు ససెప్టర్ యొక్క పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
SiC-CVD లక్షణాలు
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β దశ
సాంద్రత	g/cm ³	3.21
కాఠిన్యం	వికర్స్ కాఠిన్యం	2500
ధాన్యం పరిమాణం	μm	2~10
రసాయన స్వచ్ఛత	%	99.99995
ఉష్ణ సామర్థ్యం	J kg-1 K-1	640
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	℃	2700
Felexural బలం	MPa (RT 4-పాయింట్)	415
యంగ్స్ మాడ్యులస్	Gpa (4pt బెండ్, 1300℃)	430
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ఉష్ణ వాహకత	(W/mK)	300