సెమికోరెక్స్ అడ్వాన్స్డ్, హై-ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ కాంపోనెంట్లు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రక్రియలో విపరీతమైన వాతావరణాలను తట్టుకునేలా నిర్మించబడ్డాయి. మా సెమీకండక్టర్ వేఫర్ చక్ మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తుంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
సెమికోరెక్స్ అల్ట్రా-ఫ్లాట్ సెమీకండక్టర్ వేఫర్ చక్ అనేది వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రక్రియలో ఉపయోగించి అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన SiC పూతతో ఉంటుంది. MOCVD పరికరాల ద్వారా సెమీకండక్టర్ వేఫర్ చక్ సమ్మేళనం అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది తీవ్రమైన వాతావరణంలో గొప్ప స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది మరియు సెమీకండక్టర్ పొర ప్రాసెసింగ్ కోసం దిగుబడి నిర్వహణను మెరుగుపరుస్తుంది. తక్కువ-ఉపరితల-పరిచయ కాన్ఫిగరేషన్లు సున్నితమైన అనువర్తనాల కోసం వెనుక వైపు కణాల ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తాయి.
సెమీకండక్టర్ వేఫర్ చక్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
సెమీకండక్టర్ వేఫర్ చక్ యొక్క లక్షణాలు
- సేవా జీవితాన్ని మెరుగుపరచడానికి CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలు.
- అల్ట్రా ఫ్లాట్ సామర్థ్యాలు
- అధిక దృఢత్వం
- తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ
- విపరీతమైన దుస్తులు నిరోధకత