సెమికోరెక్స్ SIC సిరామిక్ బోట్లు ఆధునిక సెమీకండక్టర్ పొర ప్రాసెసింగ్ యొక్క కఠినమైన డిమాండ్లకు అవసరమైన స్వచ్ఛత, బలం, ఉష్ణ నిరోధకత మరియు డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం యొక్క సరైన కలయికను అందిస్తాయి. చాలి
సెమికోరెక్స్ SIC సిరామిక్ బోట్లు అనేది రసాయనికంగా మరియు ఉష్ణ విపరీతమైన వాతావరణంలో సెమీకండక్టర్ పొరలను సురక్షితంగా రవాణా చేయడానికి, నిల్వ చేయడానికి మరియు ప్రాసెస్ చేయడానికి ప్రత్యేకంగా రూపొందించిన అత్యాధునిక క్యారియర్లు. సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కొత్త పనితీరు ప్రమాణాలను వేగంగా అవలంబించింది, దీనికి SIC సిరామిక్ పడవలు విశ్వసనీయంగా, నమ్మకంగా మరియు కాలుష్యం లేనివి ఆధునిక పొర కల్పన ప్రక్రియల కోసం అసహనం మరియు క్లిష్టమైన డిమాండ్లను సాధించాల్సిన అవసరం ఉంది.
బలమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు బలం
SIC సిరామిక్ బోట్ల యొక్క నిర్వచించే లక్షణం దాని అధిక ఉష్ణ స్థిరత్వం. SIC సిరామిక్ పడవలు దూకుడు థర్మల్ సైక్లింగ్ ప్రక్రియల సమయంలో వాటి ఆకారం లేదా నిర్మాణాన్ని కోల్పోకుండా 1600 ° C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతను భరిస్తాయి. అల్ట్రా-తక్కువ థర్మల్ విస్తరణ గుణకం కారణంగా, SIC సిరామిక్ పడవలు వక్రీకరణ మరియు పగుళ్లకు తక్కువ అవకాశం కలిగి ఉంటాయి, గట్టి పరిస్థితులలో నిర్వహించేటప్పుడు గట్టి సహనాలు మరియు మొత్తం పొర భద్రతను అనుమతిస్తుంది.
అధిక స్వచ్ఛత మరియు రసాయన నిరోధకత
SIC సిరామిక్ పడవలు అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ నుండి తయారు చేయబడతాయి. SIC సిరామిక్ పడవలు రసాయన క్షీణత, తినివేయు మరియు క్షీణిస్తున్న ప్లాస్మాకు కూడా అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి. SIC సిరామిక్ బోట్ల యొక్క జడ స్వభావం అంటే తినివేయు వాయువులు, రియాక్టివ్ పరిసరాలు, ఆమ్ల పరిస్థితులు పడవ నుండి కలుషితాన్ని ఏర్పరుస్తాయి లేదా పని ప్రక్రియకు హాని కలిగించడానికి కరిగేవి కావు. SIC సిరామిక్ బోట్ల యొక్క కలుషితమైన ఉపరితలం కణాల తరం లేదా అయాన్ లీచింగ్ను అనుమతించదు, అందువల్ల పొర ఉపరితలం పరికర పనితీరు లేదా దిగుబడికి ఆటంకం కలిగించే మలినాలను దెబ్బతీస్తుంది.
సురక్షితమైన మరియు సురక్షితమైన పొర నిర్వహణ కోసం ప్రెసిషన్ ఇంజనీరింగ్
SIC సిరామిక్ పడవలు గట్టి సహనాలలో తయారు చేయబడతాయి, ఇవి 100 మిమీ, 150 మిమీ, 200 మిమీ, 300 మిమీ మరియు మరెన్నో సహా వివిధ వ్యాసాల పొరలను నిర్వహించడానికి వీలు కల్పిస్తాయి. SIC పడవల యొక్క నిర్మాణ రూపకల్పన సరైన పొర లాపింగ్ ధోరణిని నిర్వహించడానికి మరియు మరొక ప్రక్రియ లేదా సాధనానికి బదిలీ చేసేటప్పుడు పొర యొక్క అంచులను రక్షించడానికి అద్భుతమైన ఫ్లాట్నెస్, సమాంతరత మరియు ఏకరీతి స్లాట్ పరిమాణాన్ని అందిస్తుంది. టూల్ సెట్కు సరిపోయేలా లేదా ఏదైనా ఆటోమేషన్ స్పెసిఫికేషన్లకు అనుగుణంగా అన్ని SIC పడవలను అనుకూల కొలతలతో రూపొందించవచ్చు.
సుదూర జీవితకాలం మరియు ఎక్కువ ఖర్చుతో కూడుకున్నది
SIC సాంప్రదాయ పదార్థాలను (క్వార్ట్జ్, అల్యూమినా) ను గణనీయంగా మెరుగైన యాంత్రిక బలం, పగులు మొండితనం మరియు థర్మల్ షాక్ నిరోధకతతో భర్తీ చేస్తుంది. ఈ స్థాయి మన్నిక "వైఫల్యం" కి ముందు ఎక్కువ జీవితకాలం, ఆపరేషన్ సమయంలో గణనీయంగా తక్కువ పున ments స్థాపనలు మరియు యాజమాన్యం యొక్క మొత్తం ఖర్చును తక్కువ ఖర్చు చేస్తుంది. SIC యొక్క మన్నిక నుండి పనితీరులో స్థిరత్వం సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీ మార్గాలపై నిర్గమాంశను వేగవంతం చేస్తుంది.
సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో అనువర్తనాలు తెరవండి
SIC సిరామిక్ పడవలను ఫ్రంట్-ఎండ్ సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగిస్తారు:
ఎల్పిసివిడి
థర్మల్ ఆక్సీకరణ
అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్
ఎనియలింగ్ మరియు వ్యాప్తి
పొర శుభ్రపరచడం మరియు రసాయన ప్రాసెసింగ్
SIC సిరామిక్ హ్యాండిల్స్ వాతావరణం మరియు వాక్యూమ్ ప్రాసెస్ ఛాంబర్స్ రెండింటిలోనూ అనుకూలమైన ప్రాసెసింగ్ అనువర్తనాలను కలిగి ఉన్నాయి, ఇది ఉత్పాదకతను పెంచేటప్పుడు కలుషిత ప్రమాదాన్ని తగ్గించడానికి మరియు తగ్గించడానికి మరియు తగ్గించడానికి చూస్తున్న ఫౌండరీలు మరియు FAB లకు అనువైన ఎంపిక.