Sic నిలువు పడవలు

సెమికోరెక్స్ SIC నిలువు పడవలు ఇంజనీరింగ్ చేసిన పొర క్యారియర్లు, నిలువు కొలిమి సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం అత్యధిక ఉష్ణ, యాంత్రిక మరియు రసాయన స్థిరత్వాన్ని అందించడానికి రూపొందించబడ్డాయి మరియు తయారు చేయబడ్డాయి. అధిక-స్వచ్ఛతతో నిర్మించబడిందిసిలికాన్ కార్బైడ్.

నిలువు కొలిమి ప్రాసెసింగ్ పరిసరాలకు అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద పదేపదే ఎక్స్‌పోజర్‌లను తట్టుకోగల పొర మద్దతు వ్యవస్థ అవసరం, తరచుగా 1,200 ° C కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది మరియు కలుషిత సమస్యలు లేకుండా డైమెన్-సియోనల్‌గా స్థిరంగా ఉంటుంది. సిక్ నిలువు పడవలు ఈ పరిస్థితులలో వాటి దృ ness త్వంలో రాణించాయి ఎందుకంటే పున ry స్థాపించబడిన లేదా సివిడి సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క అంతర్గత యాంత్రిక మరియు ఉష్ణ లక్షణాల కారణంగా. వారి చాలా తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం వేగవంతమైన థర్మల్ సైక్లింగ్ కారణంగా కనీస వార్‌పేజ్ లేదా వక్రీకరణను నిర్ధారిస్తుంది. అదనంగా, అధిక ఉష్ణ వాహకత, అన్ని పొరలలో గొప్ప స్థానిక ఉష్ణోగ్రత సజాతీయతను అందిస్తుంది, ఇది పొర మందం, డోపింగ్ ప్రొఫైల్స్ మరియు విద్యుత్ పనితీరులో పొర-నుండి-వాఫర్ అనుగుణ్యతకు కీలకం; సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో అధిక-వాల్యూమ్ తయారీ యొక్క ముఖ్యమైన అంశాలు.

సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పడవలతో పోలిస్తే, సిక్ నిలువు పడవలు ఉన్నతమైన యాంత్రిక బలం మరియు విస్తరించిన సేవా జీవితాన్ని అందిస్తాయి. క్వార్ట్జ్ కాలక్రమేణా పెళుసుగా మరియు విభేదిస్తుంది, ముఖ్యంగా దూకుడు కొలిమి కెమిస్ట్రీలలో, అధిక పున ment స్థాపన ఖర్చులు మరియు సంభావ్య ఉత్పత్తి అంతరాయాలకు దారితీస్తుంది. దీనికి విరుద్ధంగా, సిలికాన్ కార్బైడ్ క్లోరిన్, హెచ్‌సిఎల్, లేదా అమ్మోనియా వంటి తినివేయు వాయువులకు ఎక్కువ కాలం బహిర్గతం అయిన తర్వాత కూడా దాని సమగ్రతను నిర్వహిస్తుంది, ఇవి వివిధ వ్యాప్తి మరియు ఎల్‌పిసివిడి ప్రక్రియలలో సాధారణం. దీని అసాధారణమైన దుస్తులు మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకత కణాల ఉత్పత్తిని బాగా తగ్గిస్తుంది, ఇది కలుషితం మరియు లోపం ఏర్పడటం నుండి పొర ఉపరితలాలను కాపాడటానికి సహాయపడుతుంది.

SIC నిలువు పడవలు అల్ట్రా-క్లీన్ ప్రాసెసింగ్ పరంగా కూడా గణనీయమైన ప్రయోజనాన్ని అందిస్తాయి. సెమీకండక్టర్ పరికరాల యొక్క కార్యాచరణ లక్షణాలకు ఆటంకం కలిగించే గుర్తించదగిన ట్రేస్ కలుషితమైన లోహాలను తగ్గించడానికి అధిక-స్వచ్ఛత SIC పదార్థం కఠినమైన శ్రద్ధతో ప్రాసెస్ చేయబడుతుంది. SIC నిలువు పడవ ఉపరితలాలు మైక్రో-పార్టికల్స్ షెడ్డింగ్ యొక్క అవకాశాన్ని తగ్గించే కుడి-కోణ లక్షణాలతో బాగా పూర్తయ్యాయి. SIC ఉపరితలాలు రసాయనికంగా జడమైనవి మరియు ప్రాసెస్ వాయువులతో స్పందించవు మరియు అందువల్ల కలుషితానికి తక్కువ అవకాశం ఉంది. ఈ విషయంలో, SIC నిలువు పడవలు ఫ్రంట్ ఎండ్ ఆఫ్ లైన్ (FEOL) మరియు బ్యాక్ ఆఫ్ లైన్ (BEOL) పొర ప్రాసెసింగ్ కార్యకలాపాలకు బాగా సరిపోతాయి.

SIC నిలువు పడవలు డిజైన్ వశ్యతను కూడా అందిస్తాయి. ప్రతి నిలువు పడవ బహుళ పొర వ్యాసాలను (150 మిమీ, 200 మిమీ లేదా 300 మిమీ పొరలు) ఉంచడానికి డిజైన్-నిర్దిష్టంగా ఉంటుంది మరియు ప్రక్రియ అవసరాలను తీర్చడానికి స్లాట్ నంబర్ మరియు స్పేసింగ్ ఉపయోగించవచ్చు. ప్రెసిషన్ మ్యాచింగ్ మరియు డైమెన్షనల్ కంట్రోల్ సరైన పొర అమరిక మరియు పొర మద్దతును లోడింగ్, ప్రాసెసింగ్ మరియు అన్‌లోడ్ చేసేటప్పుడు ఏదైనా మైక్రో-స్క్రాచ్‌లు లేదా ఒత్తిడి పగుళ్లు యొక్క సంభావ్యతను తగ్గించడానికి అనుమతిస్తుంది. అలాగే, ఒక నిర్దిష్ట ప్రక్రియకు ఉన్నతమైన ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపత మరియు / లేదా తక్కువ ఉష్ణ ద్రవ్యరాశి అవసరమైతే, ఆప్టిమైజ్ చేసిన జ్యామితి మరియు స్లాట్ నమూనాలను ఏ యాంత్రిక లక్షణాలను త్యాగం చేయకుండా, SIC నిలువు పడవ ఆకృతీకరణలలో చేర్చవచ్చు.

మరొక ప్రయోజనం నిర్వహణ మరియు కార్యాచరణ సామర్థ్యం. యొక్క కఠినమైన నిర్మాణంSicనిలువు పడవలు పున ment స్థాపన సమయం మరియు పౌన frequency పున్యాన్ని తగ్గిస్తాయి, తద్వారా పనికిరాని సమయం లేదా యాజమాన్యం ఖర్చును తగ్గిస్తుంది. SIC యొక్క థర్మల్ షాక్ నిరోధకత తాపన మరియు శీతలీకరణ యొక్క తక్కువ చక్రాలను ఉత్పత్తి మార్గాల్లో అధిక నిర్గమాంశను అందించడానికి అనుమతిస్తుంది. SIC నిలువు పడవల నిర్వహణ లేదా శుభ్రపరచడం కూడా చాలా సులభం; ఆమ్లాలతో రసాయన శుభ్రపరచడం మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత రొట్టెలుకాల్చు వంటి సెమీకండక్టర్ ఫాబ్స్‌లో సాధారణమైన సాంప్రదాయిక తడి లేదా పొడి శుభ్రపరిచే ప్రక్రియలను పదార్థం భరిస్తుంది.

అధునాతన సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ యొక్క ఈ ఆధునిక యుగంలో దిగుబడి మెరుగుదల, కాలుష్యం నియంత్రణ మరియు ఈ ప్రక్రియలో స్థిరత్వం అన్ని ప్రాముఖ్యతను కలిగి ఉంది, Sic నిలువు పడవలు నిజమైన సాంకేతిక ప్రయోజనాన్ని అందిస్తాయి. అవి నిలువు కొలిమి అనువర్తనాల యొక్క భౌతిక మరియు రసాయన సవాళ్లతో బాగా వ్యవహరిస్తాయి మరియు పొర సమగ్రత, స్థిరమైన ఫలితాలు మరియు పరికరాల యొక్క ఎక్కువ జీవితాన్ని అందించడం ద్వారా మొత్తం ప్రాసెస్ ఆప్టిమైజేషన్‌కు దోహదం చేస్తాయి.