సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ వేఫర్ బోట్

సెమికోరెక్స్ వర్టికల్/లమ్ మరియు క్షితిజ సమాంతర కాన్ఫిగరేషన్‌ల కోసం వేఫర్ బోట్‌లు, పీడెస్టల్స్ మరియు కస్టమ్ వేఫర్ క్యారియర్‌లను అందిస్తుంది. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఫిల్మ్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా ఉన్నాము. మా సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవ మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు చాలా యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్‌లను కవర్ చేస్తుంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవ, సెమీకండక్టర్ తయారీలో పొర నిర్వహణ మరియు రక్షణ కోసం అంతిమ పరిష్కారం.
మా సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవ అనేది సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పొరతో కప్పబడిన అధిక-నాణ్యత పదార్థంతో తయారు చేయబడింది, ఇది CVD పద్ధతిని ఉపయోగించింది, ఇది తుప్పుకు మంచి నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు థర్మల్ షాక్‌లకు అద్భుతమైన నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. అధునాతన సెరామిక్స్ అద్భుతమైన థర్మల్ రెసిస్టెన్స్ మరియు ప్లాస్మా మన్నికను అందిస్తాయి, అయితే అధిక సామర్థ్యం కలిగిన పొర క్యారియర్‌ల కోసం కణాలు మరియు కలుషితాలను తగ్గిస్తుంది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవ యొక్క పారామితులు

సాంకేతిక లక్షణాలు
సూచిక	యూనిట్	విలువ
మెటీరియల్ పేరు		రియాక్షన్ సింటర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్	ప్రెజర్‌లెస్ సింటెర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్	రీక్రిస్టలైజ్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్
కూర్పు		RBSiC	SSiC	R-SiC
బల్క్ డెన్సిటీ	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
సంపీడన బలం	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
కాఠిన్యం	బటన్	2700	2800	/
బ్రేకింగ్ టెనాసిటీ	MPa m1/2	4.5	4	/
ఉష్ణ వాహకత	W/m.k	95	120	23
థర్మల్ విస్తరణ యొక్క గుణకం	10^-6.1/°C	5	4	4.7
నిర్దిష్ట వేడి	జూల్/గ్రా 0కే	0.8	0.67	/
గాలిలో గరిష్ట ఉష్ణోగ్రత	℃	1200	1500	1600
సాగే మాడ్యులస్	Gpa	360	410	240

SSiC మరియు RBSiC మధ్య వ్యత్యాసం:

1. సింటరింగ్ ప్రక్రియ భిన్నంగా ఉంటుంది. RBSiC అనేది తక్కువ ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఉచిత Siని సిలికాన్ కార్బైడ్‌లోకి చొప్పించడం, SSiC 2100 డిగ్రీల వద్ద సహజ సంకోచం ద్వారా ఏర్పడుతుంది.

2. SSiC మృదువైన ఉపరితలం, అధిక సాంద్రత మరియు అధిక బలాన్ని కలిగి ఉంటుంది, కొన్ని సీలింగ్‌లకు మరింత కఠినమైన ఉపరితల అవసరాలు, SSiC మెరుగ్గా ఉంటుంది.

3. వేర్వేరు PH మరియు ఉష్ణోగ్రత కింద వేర్వేరు సమయం, SSiC RBSiC కంటే ఎక్కువ

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ వేఫర్ బోట్ యొక్క ప్రత్యేకతలు

సుపీరియర్ హీట్ రెసిస్టెన్స్ & థర్మల్ ఏకరూపత
ఒక మృదువైన ఉపరితలం కోసం ఫైన్ SiC క్రిస్టల్ పూత
రసాయన శుభ్రపరచడానికి వ్యతిరేకంగా అధిక మన్నిక
పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ జరగకుండా మెటీరియల్ రూపొందించబడింది.