సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ వేఫర్ బోట్లు

అనివార్యమైన పొరను మోసే భాగాలుగా, సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు సెమీకండక్టర్ తయారీలో, ప్రత్యేకించి ఖచ్చితమైన ఉష్ణ చికిత్స ప్రక్రియలలో పొరలను సురక్షితంగా బిగించడానికి, మద్దతు ఇవ్వడానికి మరియు బదిలీ చేయడానికి ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడ్డాయి. సెమికోరెక్స్, చైనాలో పరిశ్రమ-ప్రముఖ కంపెనీ, పొర దిగుబడి మరియు కార్యాచరణ సామర్థ్యాన్ని పెంచే అధిక-నాణ్యత సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ వేఫర్ బోట్‌లను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

ప్రీమియం మెటీరియల్ ఎంపిక

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ యొక్క అద్భుతమైన లక్షణాలుపొర పడవలుఅధిక-నాణ్యత ముడి పదార్థాలకు ఆపాదించబడతాయి. సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ SiSiC మెటీరియల్‌తో తయారు చేయబడింది మరియు CVD SiC పూతతో కప్పబడి, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు క్రింది అద్భుతమైన లక్షణాలను ప్రదర్శిస్తాయి.

Silicon carbide ceramic wafer boats

1.అల్ట్రా-అధిక స్వచ్ఛత, లోహపు మలినం విడుదల నుండి ఉచితం

సబ్‌స్ట్రేట్ అశుద్ధం: ＜100 ppm

CVD SiC పూత అశుద్ధం: ＜1 ppm

2.సుపీరియర్ థర్మల్ స్టెబిలిటీ

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు 1250℃ అధిక-ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితుల్లో స్థిరంగా పని చేయగలవు, కనిష్ట వైకల్యం మరియు క్రీప్ నిరోధకతను అందిస్తాయి.

3.హై మెకానికల్ బలం

సిలికాన్ కార్బైడ్అధిక కాఠిన్యం మరియు దుస్తులు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు గీతలు, రాపిడి మరియు నష్టాన్ని నిరోధించడానికి వీలు కల్పిస్తుంది, తద్వారా దీర్ఘకాలిక ఆపరేషన్ సమయంలో బాగా పని చేస్తుంది మరియు నష్టానికి నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది.

4.Exceptional తుప్పు నిరోధకత

సిలికాన్ కార్బైడ్ బలమైన ఆమ్లాలు మరియు ఆల్కాలిస్ నుండి తుప్పుకు నిరోధకతను కలిగి ఉన్నందున, సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు అధిక తినివేయు పని పరిస్థితులలో కూడా దాని నిర్మాణ సమగ్రతను మరియు క్రియాత్మక పనితీరును నిర్వహించగలవు.

ఆప్టిమైజ్డ్ స్ట్రక్చరల్ డిజైన్

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు బ్యాచ్ వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం రూపొందించబడ్డాయి, వాటి ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన స్ట్రక్చరల్ ఫ్రేమ్‌వర్క్ ప్రతి పొరకు స్థిరమైన బ్యాచ్ పొర మద్దతు మరియు స్థిరమైన ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

1.3-పోస్ట్ నిలువు మద్దతు నిర్మాణం

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ వేఫర్ బోట్‌ల నిలువు నిర్మాణం వాటిని నిలువు కొలిమి అనువర్తనాలతో సజావుగా సరిపోల్చడానికి వీలు కల్పిస్తుంది. ఈ నిర్మాణంతో, ఎమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు ప్రక్రియ వాయువుల సజాతీయ ప్రసరణను మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత కొలిమిలో ఉష్ణ శక్తి యొక్క ఏకరీతి పంపిణీని సులభతరం చేయగలవు.

2.Uniformly పంపిణీ స్లాట్ pinches

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ వేఫర్ బోట్‌లు వాటి సపోర్ట్ పోస్ట్‌లపై బహుళ ఖచ్చితత్వ-మెషిన్డ్ స్లాట్ పించ్‌లతో అమర్చబడి ఉంటాయి. వాటి సమానంగా ఉండే స్లాట్ పించ్‌లు తగిన స్లాట్ స్పేసింగ్‌ను సాధిస్తాయి, ఇది సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ వేఫర్ బోట్‌లను సెమీకండక్టర్ పొరలను దృఢంగా భద్రపరచడానికి వీలు కల్పిస్తుంది, తద్వారా వేఫర్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ ఫలితాల స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరచడంలో దోహదపడుతుంది.

చాలా అద్భుతమైన పనితీరు మరియు విధులతో, సెమీకోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎనియలింగ్ వంటి సెమీకండక్టర్ పొర తయారీలో ప్రధాన ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి.

హాట్ ట్యాగ్‌లు: సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ వేఫర్ బోట్లు, చైనా, తయారీదారులు, సరఫరాదారులు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, బల్క్, అధునాతన, మన్నికైనవి

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం