సెమికోరెక్స్ అనేది సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్, సెమీకండక్టర్ తయారీకి సంబంధించిన MOCVP ప్రాంతాలపై దృష్టి సారించే ప్రెసిషన్ మెషిన్డ్ హై ప్యూరిటీ గ్రాఫైట్ల యొక్క స్వతంత్ర యాజమాన్యంలో ఉన్న ప్రముఖ తయారీదారు. మా రోబోట్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తుంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
రోబోట్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ అనేది రోబోట్ చేతి, ఇది సెమీకండక్టర్ పొరలను వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాలు మరియు క్యారియర్లలోని స్థానాల మధ్య కదిలిస్తుంది. రోబోట్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ తప్పనిసరిగా డైమెన్షనల్గా ఖచ్చితమైనది మరియు థర్మల్గా స్థిరంగా ఉండాలి, అయితే పరికరాలను పాడుచేయకుండా లేదా నలుసు కాలుష్యాన్ని ఉత్పత్తి చేయకుండా పొరలను సురక్షితంగా నిర్వహించడానికి మృదువైన, రాపిడి-నిరోధక ఉపరితలం కలిగి ఉండాలి. మా హై-ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూత రోబోట్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ సుపీరియర్ హీట్ రెసిస్టెన్స్ని అందిస్తుంది, స్థిరమైన ఎపి లేయర్ మందం మరియు రెసిస్టెన్స్ కోసం థర్మల్ ఏకరూపత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను కూడా అందిస్తుంది.
రోబోట్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
రోబోట్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ యొక్క లక్షణాలు
అధిక స్వచ్ఛత SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్
సుపీరియర్ హీట్ రెసిస్టెన్స్ & థర్మల్ ఏకరూపత
ఒక మృదువైన ఉపరితలం కోసం ఫైన్ SiC క్రిస్టల్ పూత
రసాయన శుభ్రపరచడానికి వ్యతిరేకంగా అధిక మన్నిక
పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ జరగకుండా మెటీరియల్ రూపొందించబడింది.