సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగ్స్

సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగులు, కీలకమైన రింగ్ భాగాలు, సెమీకండక్టర్ ప్లాస్మా ఎచింగ్‌లో పొర ఎచింగ్ యొక్క ఏకరూపత మరియు స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరచడానికి ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడ్డాయి. ఏకరీతి ప్లాస్మా పంపిణీని ప్రోత్సహించడంలో మరియు విద్యుత్ క్షేత్ర వాతావరణాన్ని ఆప్టిమైజ్ చేయడంలో వారి అద్భుతమైన పనితీరుకు వారు ప్రసిద్ధి చెందారు.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగులుఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ యొక్క పొర మద్దతు ఉపరితలం చుట్టూ ఉంచబడిన ఎచింగ్ పరికరాల రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లో సాధారణంగా అమర్చబడతాయి. ఈ ఇన్‌స్టాలేషన్ అమరిక పొర అంచు మరియు ఎలక్ట్రోడ్ మధ్య ఎత్తు వ్యత్యాసాన్ని విజయవంతంగా పూరించగలదు, రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లోని ప్లాస్మాను పొర ఉపరితలంపై కేంద్రీకరించడం ద్వారా ఏకరీతి ఎచింగ్‌ను సాధించడంతోపాటు పొర అంచు నుండి బయటికి ప్లాస్మా వ్యాప్తి చెందకుండా అడ్డుకుంటుంది.

అధిక-నాణ్యత ఎచింగ్ భాగాలు ఎచింగ్ ప్రక్రియ కోసం స్థిరమైన విద్యుత్ క్షేత్ర వాతావరణాన్ని అందించగలవు. సెమికోరెక్స్ యొక్క సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగ్‌లు అధిక-పనితీరుతో తయారు చేయబడ్డాయిసిలికాన్ కార్బైడ్ పదార్థాలురసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా. మా ఫోకస్ రింగ్‌లు పొర చుట్టూ ఉన్న ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్ డిస్ట్రిబ్యూషన్‌ను సర్దుబాటు చేయగలవు, అసమాన విద్యుత్ క్షేత్రాల వల్ల ఏర్పడే ఎచింగ్ విచలనాలు లేదా ఉత్సర్గ దృగ్విషయాలను గణనీయంగా తగ్గించగలవు.

సెమీకండక్టర్ పొరలు నలుసు కాలుష్యానికి సులభంగా గురవుతాయి, కాబట్టి ప్లాస్మా ఎచింగ్ ప్రక్రియలను అల్ట్రా-క్లీన్ అయాన్ ఎచింగ్ రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లలో తప్పనిసరిగా నిర్వహించాలి. ఎచింగ్ పరికరాల యొక్క ప్రాథమిక భాగం వలె, సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగ్‌లు వాస్తవ ఆపరేషన్‌లో పొర అంచుతో ప్రత్యక్ష సంబంధంలోకి వస్తాయి, ఇది అల్ట్రా-హై క్లీన్‌నెస్ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా కూడా అవసరం. సెమికోరెక్స్ యొక్క సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగ్‌లు అధిక స్వచ్ఛత మరియు తక్కువ అశుద్ధ కంటెంట్ యొక్క ప్రయోజనాలను అందిస్తాయి, ఇవి సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్ ప్రక్రియల యొక్క కఠినమైన శుభ్రత అవసరాలను ఖచ్చితంగా తీర్చగలవు. ఇది పొర లోపాలను తగ్గించడానికి మరియు పొర ఉత్పత్తి దిగుబడిని మెరుగుపరచడానికి బాగా దోహదపడుతుంది.

ప్లాస్మా ఎచింగ్ ప్రక్రియలో, ఫ్లోరిన్ మరియు ఆక్సిజన్ వంటి ఎచింగ్ వాయువులు రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లోకి ప్రవేశపెడతారు. ఎచింగ్ పరికరాల రసాయన తుప్పు నిరోధకత ప్రక్రియ వాయువుల వల్ల కలిగే దీర్ఘకాలిక తుప్పు ద్వారా తీవ్రంగా సవాలు చేయబడింది. ప్లాస్మా తుప్పుకు దాని అత్యుత్తమ నిరోధక లక్షణంతో, సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగ్ తయారీకి సరైన మెటీరియల్ ఎంపిక. తుప్పు-సంబంధిత భాగాల నష్టం యొక్క సంభావ్యతను తగ్గించడం మరియు తరచుగా భర్తీ మరియు నిర్వహణ అవసరాన్ని తగ్గించడం ద్వారా, సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగ్‌లు సెమీకండక్టర్ పొర తయారీ సామర్థ్యాన్ని గణనీయంగా పెంచుతాయి.

హాట్ ట్యాగ్‌లు: సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగ్స్, చైనా, తయారీదారులు, సరఫరాదారులు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, బల్క్, అధునాతన, మన్నికైనవి

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం