సెమికోరెక్స్ 8 అంగుళాల EPI టాప్ రింగ్ అనేది ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ సిస్టమ్స్లో ఎగువ కవర్ రింగ్గా ఉపయోగం కోసం రూపొందించిన SIC పూత గ్రాఫైట్ భాగం. అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో స్థిరమైన పనితీరును మరియు విస్తరించిన భాగం జీవితాన్ని నిర్ధారించే దాని పరిశ్రమ-ప్రముఖ పదార్థాల స్వచ్ఛత, ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్ మరియు స్థిరమైన పూత నాణ్యత కోసం సెమికోరెక్స్ ఎంచుకోండి.*
సెమికోరెక్స్ 8 అంగుళాల EPI టాప్ రింగ్ అనేది ఎపిటాక్సియల్ (EPI) నిక్షేపణ వ్యవస్థల యొక్క ప్రత్యేక భాగం, ఇది ప్రతిచర్య గదిలో టాప్ కవర్ రింగ్గా అధిక పనితీరును అందిస్తుంది. సెమీకండక్టర్ పొరల యొక్క ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సమయంలో నిర్మాణ సమగ్రత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వంపై దృష్టి సారించి, EPI టాప్ రింగ్ అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్తో తయారు చేయబడింది మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయనికంగా రియాక్టివ్ వాతావరణాలను తట్టుకోవటానికి సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) తో పూత పూయబడుతుంది.
ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్లలో, టాప్ రింగ్ పొర వాతావరణాన్ని నిలుపుకోవటానికి సహాయపడుతుంది మరియు ససెప్టర్ అసెంబ్లీలో భాగంగా నిక్షేపణ సమయంలో ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపత మరియు వాయువు ప్రవాహంలో ముఖ్యమైన పాత్ర పోషిస్తుంది. గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్లోని SIC పూత EPI టాప్ రింగ్ (హైడ్రోజన్, సిలేన్, క్లోరోసిలేన్స్ మొదలైనవి) పనితీరు సమయంలో ప్రక్రియల వాయువులను బహిర్గతం చేయడం వల్ల గ్రాఫైట్ కోర్ను రక్షించడానికి అవసరమైన థర్మల్ స్టెబిలిటీ మరియు జడ వాతావరణంతో EPI టాప్ రింగ్ను అందిస్తుంది. SIC పొర యొక్క కాఠిన్యం మరియు వాహకత క్షీణతను నివారించడం ద్వారా మరియు ఉత్పత్తి చక్రం అంతటా మరింత స్థిరమైన పొరలను అనుమతించడం ద్వారా EPI టాప్ రింగ్ యొక్క పనితీరును పెంచుతుంది.
డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం, పూత అనుగుణ్యత మరియు పునరావృతతకు నిబద్ధతతో, 8 అంగుళాల EPI టాప్ రింగ్ ఖచ్చితమైన ఇంజనీరింగ్తో తయారు చేయబడుతుంది. గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ గట్టి సహనాలకు యంత్రంగా ఉంటుంది మరియు మలినాలను వేరు చేయడానికి థర్మల్గా శుద్ధి చేయబడుతుంది, ఇది అద్భుతమైన స్వచ్ఛత మరియు శక్తితో శుభ్రమైన ఉపరితలాన్ని అందిస్తుంది. SIC పూత రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ద్వారా వర్తించబడుతుంది, ఇది దట్టమైన, స్థిరమైన మరియు గట్టిగా బంధించబడిన రక్షణ పొరను ఏర్పరుస్తుంది. ఈ ప్రక్రియ కణాల ఉత్పత్తిని తగ్గిస్తుంది మరియు విస్తరించిన ఉపయోగం సమయంలో పూత ఉపరితల సమగ్రతను నిర్వహించడానికి అనుమతిస్తుంది.
సెమీకండక్టర్ తయారీదారులు క్లిష్టమైన ఛాంబర్ పారామితులను నిర్వహించడానికి మరియు ఉత్పత్తి సమయంలో లోపం లేని పొరలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి EPI టాప్ రింగ్పై ఆధారపడతారు. ప్రముఖ OEM 8-అంగుళాల పొర ప్రాసెసింగ్ సిస్టమ్లతో ఉపయోగం కోసం కాన్ఫిగరేషన్ రూపొందించబడింది. మెరుగైన ఉష్ణ నిర్వహణ లేదా గ్యాస్ పంపిణీ కోసం మందం, ఉపరితల ముగింపు మరియు గ్రోవ్డ్ డిజైన్ల కోసం కస్టమ్ ఎంపికలు అందుబాటులో ఉన్నాయి.
ఈ అనువర్తనం కోసం SIC పూత గ్రాఫైట్ యొక్క లక్షణాలను అనుసరించడం రెండు పదార్థాల నుండి ఉత్తమమైన లక్షణాలను తీసుకుంటుంది; గ్రాఫైట్ చాలా యంత్రపరమైనది మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్తో కలిపి థర్మల్ షాక్ నిరోధకతను కలిగి ఉంది, ఇది కష్టం, తుప్పు నిరోధకత మరియు ఎక్కువ సేవా జీవితాన్ని కలిగి ఉంటుంది. ఈ కలయిక చివరికి మీకు అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద నమ్మదగిన EPI టాప్ రింగ్ ఇస్తుంది మరియు నిర్వహణ వ్యవధిని తగ్గించే శుభ్రమైన మరియు స్థిరమైన ప్రాసెసింగ్ వాతావరణానికి హామీ ఇస్తుంది మరియు మొత్తం మెరుగైన పరికరాల సమయ వ్యవధిని అందిస్తుంది.
సెమీకండక్టర్ తయారీలో గ్రాఫైట్ భాగాలు అనివార్యమైన మరియు కీలక పాత్ర పోషిస్తాయి. గ్రాఫైట్ పదార్థం యొక్క నాణ్యత తుది ఉత్పత్తి యొక్క నాణ్యతను గణనీయంగా ప్రభావితం చేస్తుంది. మా గ్రాఫైట్ బ్యాచ్ అనుగుణ్యత మరియు పదార్థ సజాతీయత ఉత్పత్తి ప్రక్రియ అంతటా నియంత్రించబడతాయి మరియు హామీ ఇవ్వబడతాయి.
1. స్మాల్-బ్యాచ్ ఉత్పత్తి, 50 క్యూబిక్ మీటర్ల సామర్థ్యంతో చిన్న కార్బోనైజేషన్ కొలిమిని ఉపయోగించి.
2. ప్రతి పదార్థం పర్యవేక్షించబడుతుంది మరియు ట్రాక్ చేయబడుతుంది.
3. కొలిమిలోని బహుళ పాయింట్ల వద్ద ఉష్ణోగ్రత పర్యవేక్షణ కనీస ఉష్ణోగ్రత వ్యత్యాసాలను నిర్ధారిస్తుంది.
4. పదార్థంపై బహుళ పాయింట్ల వద్ద ఉష్ణోగ్రత పర్యవేక్షణ కనీస ఉష్ణోగ్రత వ్యత్యాసాలను నిర్ధారిస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ చేత 8-అంగుళాల EPI టాప్ రింగ్ అసాధారణమైన పనితీరు, బ్యాచ్-టు-బ్యాచ్ అనుగుణ్యత మరియు చాలా కష్టమైన సెమీకండక్టర్స్ సిలికాన్, సిలికాన్ కార్బైడ్ లేదా ఇతర సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలలో నిరూపితమైన విశ్వసనీయతను అందిస్తుంది. ప్రతి ఉత్పాదక దశలో, మేము నాణ్యమైన నియంత్రణతో ఉత్పత్తులను ఉత్పత్తి చేస్తాము, అంటే సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం కొనుగోలు చేసిన ప్రతి ఉత్పత్తి నాణ్యమైన స్పెసిఫికేషన్లను మించిపోయింది.
మీ ఎపిటాక్సీ అప్లికేషన్ కోసం సెమికోరెక్స్ యొక్క 8 ఇ.