సెమీకండక్టర్ సామగ్రి కోసం గ్యాస్ ఇన్లెట్ రింగ్

సెమికోరెక్స్ అనేది చైనాలో సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క పెద్ద-స్థాయి తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు. మేము సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్‌లు మరియు ఎపిటాక్సీ సెమీకండక్టర్ వంటి సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలపై దృష్టి పెడతాము. సెమీకండక్టర్ ఎక్విప్‌మెంట్ కోసం మా గ్యాస్ ఇన్‌లెట్ రింగ్ మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్‌లను కవర్ చేస్తుంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

సెమీకండక్టర్ ఎక్విప్‌మెంట్ కోసం సెమికోరెక్స్ గ్యాస్ ఇన్‌లెట్ రింగ్ SiC పూతతో ఉంటుంది, ఇది దట్టమైన, దుస్తులు-నిరోధక సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూత. ఇది అధిక తుప్పు మరియు ఉష్ణ నిరోధక లక్షణాలు అలాగే అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత కలిగి ఉంది. మేము రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియను ఉపయోగించి గ్రాఫైట్‌పై సన్నని పొరలలో SiCని వర్తింపజేస్తాము.

సెమీకండక్టర్ ఎక్విప్‌మెంట్ కోసం మా గ్యాస్ ఇన్‌లెట్ రింగ్ ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, ఇది థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్‌పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాపించకుండా నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.

సెమీకండక్టర్ ఎక్విప్‌మెంట్ కోసం మా గ్యాస్ ఇన్‌లెట్ రింగ్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.

సెమీకండక్టర్ సామగ్రి కోసం గ్యాస్ ఇన్లెట్ రింగ్ యొక్క పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
SiC-CVD లక్షణాలు
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β దశ
సాంద్రత	g/cm ³	3.21
కాఠిన్యం	వికర్స్ కాఠిన్యం	2500
ధాన్యం పరిమాణం	μm	2~10
రసాయన స్వచ్ఛత	%	99.99995
ఉష్ణ సామర్థ్యం	J kg-1 K-1	640
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	℃	2700
Felexural బలం	MPa (RT 4-పాయింట్)	415
యంగ్స్ మాడ్యులస్	Gpa (4pt బెండ్, 1300℃)	430
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ఉష్ణ వాహకత	(W/mK)	300