ప్లాస్మా ఎట్చ్ ఛాంబర్‌ల కోసం అధిక-ఉష్ణోగ్రత SiC పూత

ఎపిటాక్సీ మరియు MOCVD వంటి పొర నిర్వహణ ప్రక్రియల విషయానికి వస్తే, ప్లాస్మా ఎట్చ్ ఛాంబర్‌ల కోసం సెమికోరెక్స్ యొక్క అధిక-ఉష్ణోగ్రత SiC కోటింగ్ అగ్ర ఎంపిక. మా క్యారియర్లు మా ఫైన్ SiC క్రిస్టల్ కోటింగ్‌కు కృతజ్ఞతలు తెలుపుతూ అత్యుత్తమ ఉష్ణ నిరోధకత, ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను అందిస్తాయి.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

సెమికోరెక్స్‌లో, అధిక-నాణ్యత వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ పరికరాల ప్రాముఖ్యతను మేము అర్థం చేసుకున్నాము. అందుకే ప్లాస్మా ఎట్చ్ ఛాంబర్‌ల కోసం మా అధిక-ఉష్ణోగ్రత SiC పూత ప్రత్యేకంగా అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు కఠినమైన రసాయన శుభ్రపరిచే పరిసరాల కోసం రూపొందించబడింది. మా క్యారియర్‌లు థర్మల్ ప్రొఫైల్‌లు, లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో ప్యాటర్న్‌లను కూడా అందిస్తాయి మరియు కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాప్తి చేయడాన్ని నిరోధిస్తాయి.
ప్లాస్మా ఎట్చ్ ఛాంబర్‌ల కోసం మా అధిక-ఉష్ణోగ్రత SiC కోటింగ్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.

ప్లాస్మా ఎట్చ్ ఛాంబర్స్ కోసం అధిక-ఉష్ణోగ్రత SiC పూత యొక్క పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
SiC-CVD లక్షణాలు
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β దశ
సాంద్రత	g/cm ³	3.21
కాఠిన్యం	వికర్స్ కాఠిన్యం	2500
ధాన్యం పరిమాణం	μm	2~10
రసాయన స్వచ్ఛత	%	99.99995
ఉష్ణ సామర్థ్యం	J kg-1 K-1	640
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	℃	2700
Felexural బలం	MPa (RT 4-పాయింట్)	415
యంగ్స్ మాడ్యులస్	Gpa (4pt బెండ్, 1300℃)	430
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ఉష్ణ వాహకత	(W/mK)	300

ప్లాస్మా ఎట్చ్ ఛాంబర్స్ కోసం అధిక-ఉష్ణోగ్రత SiC పూత యొక్క లక్షణాలు

- పై తొక్కను నివారించండి మరియు అన్ని ఉపరితలంపై పూత ఉండేలా చూసుకోండి

అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత: 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది

అధిక స్వచ్ఛత: అధిక ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది.

తుప్పు నిరోధకత: అధిక కాఠిన్యం, దట్టమైన ఉపరితలం మరియు చక్కటి కణాలు.

తుప్పు నిరోధకత: యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలు.

- ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించండి

- థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వానికి హామీ ఇవ్వండి

- ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలు వ్యాప్తి చెందకుండా నిరోధించండి

హాట్ ట్యాగ్‌లు: ప్లాస్మా ఎట్చ్ ఛాంబర్స్, చైనా, తయారీదారులు, సరఫరాదారులు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, బల్క్, అధునాతనమైన, మన్నికైన వాటి కోసం అధిక-ఉష్ణోగ్రత SiC పూత

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం