హోమ్ > ఉత్పత్తులు > సెమీకండక్టర్ భాగాలు > ఫోకస్ రింగ్ > ప్లాస్మా ప్రాసెసింగ్ ఫోకస్ రింగ్

ఉత్పత్తులు

ప్లాస్మా ప్రాసెసింగ్ ఫోకస్ రింగ్

ప్లాస్మా ప్రాసెసింగ్ ఫోకస్ రింగ్

సెమీకోరెక్స్ ప్లాస్మా ప్రాసెసింగ్ ఫోకస్ రింగ్ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ప్లాస్మా ఎట్చ్ ప్రాసెసింగ్ యొక్క అధిక డిమాండ్లను తీర్చడానికి ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. మా అధునాతన, అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ కాంపోనెంట్‌లు విపరీతమైన వాతావరణాలను తట్టుకునేలా నిర్మించబడ్డాయి మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్‌లు మరియు ఎపిటాక్సీ సెమీకండక్టర్‌లతో సహా వివిధ అప్లికేషన్‌లలో ఉపయోగించడానికి అనుకూలంగా ఉంటాయి.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

మా ప్లాస్మా ప్రాసెసింగ్ ఫోకస్ రింగ్ RTA, RTP లేదా కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ కోసం అత్యంత స్థిరంగా ఉంటుంది, వాటిని ప్లాస్మా ఎట్చ్ (లేదా డ్రై ఎట్చ్) ఛాంబర్‌లలో ఉపయోగించడానికి అనువైన ఎంపికగా చేస్తుంది. పొర అంచు లేదా చుట్టుకొలత చుట్టూ ఎట్చ్ ఏకరూపతను మెరుగుపరచడానికి రూపొందించబడింది, మా ఫోకస్ రింగ్‌లు లేదా అంచు రింగ్‌లు కాలుష్యం మరియు షెడ్యూల్ చేయని నిర్వహణను తగ్గించడానికి రూపొందించబడ్డాయి.

మా SiC కోటింగ్ అనేది అధిక తుప్పు మరియు ఉష్ణ నిరోధక లక్షణాలతో పాటు అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకతతో కూడిన దట్టమైన, ధరించే నిరోధక సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత. మేము రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియను ఉపయోగించి గ్రాఫైట్‌పై సన్నని పొరలలో SiCని వర్తింపజేస్తాము. ఇది మా SiC ఫోకస్ రింగ్‌లు అత్యుత్తమ నాణ్యత మరియు మన్నికను కలిగి ఉన్నాయని నిర్ధారిస్తుంది, వాటిని మీ ప్లాస్మా ఎట్చ్ ప్రాసెసింగ్ అవసరాలకు నమ్మదగిన ఎంపికగా చేస్తుంది.

మా ప్లాస్మా ప్రాసెసింగ్ ఫోకస్ రింగ్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.


ప్లాస్మా ప్రాసెసింగ్ ఫోకస్ రింగ్ యొక్క పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు

SiC-CVD లక్షణాలు

క్రిస్టల్ నిర్మాణం

FCC β దశ

సాంద్రత

g/cm ³

3.21

కాఠిన్యం

వికర్స్ కాఠిన్యం

2500

ధాన్యం పరిమాణం

μm

2~10

రసాయన స్వచ్ఛత

%

99.99995

ఉష్ణ సామర్థ్యం

J·kg-1 ·K-1

640

సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత

2700

Felexural బలం

MPa (RT 4-పాయింట్)

415

యంగ్స్ మాడ్యులస్

Gpa (4pt బెండ్, 1300â)

430

థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)

10-6K-1

4.5

ఉష్ణ వాహకత

(W/mK)

300


ప్లాస్మా ప్రాసెసింగ్ ఫోకస్ రింగ్ యొక్క లక్షణాలు

- సేవా జీవితాన్ని మెరుగుపరచడానికి CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలు.

- అధిక-పనితీరు గల శుద్ధి చేసిన దృఢమైన కార్బన్‌తో చేసిన థర్మల్ ఇన్సులేషన్.

- కార్బన్/కార్బన్ కాంపోజిట్ హీటర్ మరియు ప్లేట్.- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.

- పిన్‌హోల్ నిరోధకత మరియు అధిక జీవితకాలం కోసం అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ మరియు SiC పూత



హాట్ ట్యాగ్‌లు: ప్లాస్మా ప్రాసెసింగ్ ఫోకస్ రింగ్, చైనా, తయారీదారులు, సరఫరాదారులు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, బల్క్, అధునాతన, మన్నికైనది

సంబంధిత వర్గం

విచారణ పంపండి

దయచేసి దిగువ ఫారమ్‌లో మీ విచారణను ఇవ్వడానికి సంకోచించకండి. మేము మీకు 24 గంటల్లో ప్రత్యుత్తరం ఇస్తాము.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept