పోరస్ సిక్ చక్

సెమికోరెక్స్ పోరస్ సిక్ చక్ అనేది సిరామిక్ భాగం, ఇది తనిఖీ, పరీక్ష మరియు లితోగ్రఫీ వంటి ప్రాసెస్ దశల ద్వారా సెమీకండక్టర్ అనువర్తనాల కోసం సురక్షితమైన, సమర్థవంతమైన, సమర్థవంతమైన, సమర్థవంతంగా పొర సబ్‌స్ట్రేట్‌లను నిర్వహించడానికి ఖచ్చితత్వంతో సమావేశమైంది. చక్ మైక్రో-పోరస్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ (SIC) తో తయారు చేయబడింది. SIC కి యాంత్రిక బలం, రసాయన నిరోధకత మరియు కత్తి-అంచు సెమీకండక్టర్ తయారీ వాతావరణాలకు అవసరమైన ఉష్ణ స్థిరత్వ లక్షణాలు ఉన్నాయి.

పోరస్ సిక్ చక్ యొక్క ముఖ్యమైన లక్షణం దాని ప్రత్యేకమైన మైక్రోస్ట్రక్చర్, ఇది 35%-40%సచ్ఛిద్రతను ప్రదర్శిస్తుంది. చక్ యొక్క సచ్ఛిద్రతతో, అధిక రూపకల్పన వాక్యూమ్ చూషణను చక్ అంతటా సమానంగా పంపిణీ చేయడానికి అనుమతిస్తుంది, సాధారణంగా సున్నితమైన పొర ఉపరితలాలకు స్థిరమైన స్థిరమైన మరియు నాన్-కాంటాక్ట్ మద్దతును ఉత్పత్తి చేస్తుంది: సిలికాన్ లేదా గన్ మరియు ఇతర సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్లు.  వాక్యూమ్ చూషణ మోడ్ కణాల కాలుష్యం మరియు యాంత్రిక నష్టం రెండింటినీ నివారిస్తుంది, తద్వారా ప్రక్రియ సమయంలో పొర సమగ్రతను కాపాడుతుంది.

చక్ యొక్క సిరామిక్ బాడీ ప్రధానంగా అధిక స్వచ్ఛత సిక్, అల్యూమినా (AL2O3) వంటి ఇతర సిరామిక్స్, అనువర్తనాన్ని బట్టి పరిమిత సంఖ్యలో క్రియాత్మక పొరలకు ఉపయోగించబడుతుంది. పదార్థం యొక్క పరిశోధన మరియు అభివృద్ధి రంధ్రాల పరిమాణం మరియు పంపిణీని పొరల పరిమాణాలు మరియు ప్రక్రియ పరిస్థితులను బట్టి వాయు ప్రవాహాన్ని మరియు శక్తిని కలిగి ఉండటానికి అనుమతించటానికి అనుమతిస్తాయి. సన్నని పొరలపై శూన్యతను నియంత్రించడం చాలా ముఖ్యం అయితే, చిన్న రంధ్రాల పరిమాణం చేర్చబడుతుంది. తగిన చోట వేగంగా ప్రవాహ రేట్ల కోసం, పెద్ద రంధ్రాల పరిమాణం ఉపయోగించబడుతుంది.

పోరస్ SIC చక్స్ వేరియబుల్ రంధ్రాల పరిమాణాలు, సిరామిక్ కూర్పులు మరియు కాల్పుల పరిస్థితుల ఫలితంగా రంగు వైవిధ్యాన్ని ప్రదర్శిస్తుంది. సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క రంగు బూడిదరంగు లేదా నలుపు రంగులో ఉన్నందున SIC చక్స్ నలుపు లేదా ముదురు బూడిద రంగులో ఉంటుంది, అయితే పెద్ద అల్యూమినా కంటెంట్ ఉన్న చక్స్ ఆఫ్-వైట్ రంగులో ఉంటుంది. రంగులోని వైవిధ్యాలు ఉత్పత్తి యొక్క పనితీరుపై ప్రభావం చూపవు మరియు నిర్దిష్ట కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా నిర్దిష్ట అనువర్తనాల కోసం సృష్టించబడిన ఇంజనీరింగ్ లక్షణాలను మాత్రమే సూచిస్తాయి.

హై-ఎండ్ పొర ప్రాసెసింగ్ సాధనాల్లో, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు రసాయన జడత్వం రెండు ముఖ్యమైన లక్షణాలు. సిలికాన్ కార్బైడ్ తుప్పు వాయువులు మరియు థర్మల్ సైక్లింగ్‌కు అద్భుతమైన నిరోధకతను అందిస్తుంది. పోరస్ సిక్ చక్ వాక్యూమ్ ఛాంబర్స్ మరియు ప్లాస్మా ఎట్చ్ సాధనాలలో విజయవంతంగా పనిచేస్తుంది మరియు ఇది వేగంగా మారుతున్న ఉష్ణోగ్రతలతో బాగా పనిచేస్తూనే ఉంది. చక్ యొక్క మసకబారిన స్థిరత్వాన్ని కాపాడుకునే వారి సామర్థ్యం పొర అదే ప్రదేశంలోనే ఉందని నిర్ధారిస్తుంది, అయినప్పటికీ, డైమెన్షనల్ స్థిరీకరించిన ప్రక్రియను బట్టి ఖచ్చితత్వ అవసరాలు ఉప-మైక్రాన్ కంటే తక్కువగా ఉంటాయి.

సెమికోరెక్స్ పోరస్ సిక్ చక్స్ అధీకృత ఫార్మింగ్ మరియు సింటరింగ్ విధానాలను ఉపయోగించి తయారు చేస్తారు, ఇవి ఏకరీతి సచ్ఛిద్రత, అధిక వశ్య బలం మరియు తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణను అందిస్తాయి. ప్రతి చక్ రంధ్రాల నిర్మాణం, ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు వాక్యూమ్ పనితీరు కోసం నమ్మదగిన మరియు పునరావృతమయ్యే ఉత్పత్తిని నిర్ధారించడానికి తనిఖీ చేయబడుతుంది. నిర్దిష్ట పొర పరిమాణాలు మరియు బ్యాక్-సైడ్ గ్యాస్ ఫ్లో ఛానెల్స్ లేదా మౌంటు లక్షణాలు వంటి సిస్టమ్ ఇంటిగ్రేషన్ అవసరాలను ఉంచడానికి కస్టమ్ నమూనాలు కూడా అందుబాటులో ఉన్నాయి.

ముగింపులో, పోరస్ సిక్ చక్ అనేది అధిక విశ్వసనీయత సబ్‌స్ట్రేట్ సపోర్ట్ సిస్టమ్, ఇది ఖచ్చితమైన పొర ప్రాసెసింగ్ కోసం అవసరాలతో కలిసి పనిచేయడానికి జాగ్రత్తగా రూపొందించబడింది. అధిక వాక్యూమ్ హోల్డింగ్ సామర్థ్యం, అనుకూలీకరించదగిన రంధ్ర నిర్మాణం మరియు అత్యుత్తమ పదార్థ స్థిరత్వంతో, ఇది నేటి సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ లైన్లలో ఒక అనివార్యమైన ఉత్పత్తి.