పోరస్ SiC వాక్యూమ్ చక్స్

సెమికోరెక్స్ పోరస్ SiCవాక్యూమ్ చక్స్అనివార్యమైన భాగాలు, వీటిని ఆధునిక సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించగలవు, అంటే పొర సన్నబడటం, డైసింగ్, గ్రైండింగ్, పాలిషింగ్, ఫోటోలిథోగ్రఫీ, ఎచింగ్. వాటి అధిశోషణ వేదిక అనేక సమానంగా పంపిణీ చేయబడిన మైక్రో-స్కేల్ రంధ్రాలతో పోరస్ SiC సిరామిక్ ప్లేట్‌తో నిర్మించబడింది. స్థిరమైన రంధ్ర వ్యాసం మరియు అసాధారణమైన త్రూ-హోల్ రేటుతో, సెమికోరెక్స్ పోరస్ SiC వాక్యూమ్ చక్‌లు వాక్యూమ్ తరలింపు కోసం మృదువైన గ్యాస్ మార్గాన్ని అందిస్తాయి. ఆపరేషన్ సమయంలో, చక్ మరియు పొర మధ్య స్థిరమైన మరియు ఏకరీతి ప్రతికూల పీడనం ఏర్పడుతుంది, ఇది అధిక-సమర్థవంతమైన వాక్యూమ్ బిగింపు మరియు సెమీకండక్టర్ పొరల విడుదలను అనుమతిస్తుంది.

సెమికోరెక్స్ పోరస్ SiC వాక్యూమ్ చక్స్ యొక్క ప్రయోజనాలు 

1. అసాధారణమైన ప్రాసెసింగ్ ఖచ్చితత్వం

అధునాతన సెమీకండక్టర్ తయారీలో ప్రాసెస్ చేయబడిన సెమీకండక్టర్ పొరలు చాలా సన్నగా ఉంటాయి, కాబట్టి కొంచెం బెండింగ్, వైబ్రేషన్ లేదా అసమాన స్థానిక ఒత్తిడి కూడా పొర విచ్ఛిన్నం, వార్పింగ్ మరియు లితోగ్రఫీ వంటి క్లిష్టమైన ప్రక్రియలలో ఖచ్చితత్వాన్ని తగ్గించడానికి దారితీయవచ్చు. సెమికోరెక్స్పోరస్ SiCవాక్యూమ్ చక్‌లు అధిక-ఖచ్చితమైన గ్రౌండింగ్ మరియు పాలిషింగ్ ద్వారా ప్రాసెస్ చేయబడతాయి, రా ＜ 0.1 μm యొక్క ఖచ్చితమైన ఉపరితల కరుకుదనాన్ని సాధిస్తాయి. ఇది హై-ప్రెసిషన్ సెమీకండక్టర్ తయారీకి అనుకూలమైన కార్యాచరణ ఉపరితలాన్ని అందించడానికి సెమికోరెక్స్ పోరస్ SiC వాక్యూమ్ చక్‌లను అనుమతిస్తుంది.

2. అధిక శుభ్రత మరియు అధిక తుప్పు నిరోధకత

కఠినమైన సెమీకండక్టర్ శుభ్రత ప్రమాణాలను పూర్తిగా అందుకోవడానికి, సెమికోరెక్స్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్ ద్వారా అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ ముడి పదార్థాలతో పోరస్ SiC వాక్యూమ్ చక్‌లను తయారు చేస్తుంది. ఇది చక్‌లు పార్టికల్ షెడ్డింగ్ మరియు మైగ్రేటబుల్ మెటాలిక్ కాలుష్యం నుండి ఉచితం అని నిర్ధారిస్తుంది. SiC యొక్క అద్భుతమైన రసాయన స్థిరత్వం నుండి ప్రయోజనం పొందడం ద్వారా, సెమికోరెక్స్ పోరస్ SiC వాక్యూమ్ చక్‌లు కఠినమైన తుప్పు వాతావరణాలను తట్టుకోగలవు మరియు అదనపు ఉప-ఉత్పత్తులను ఉత్పత్తి చేయవు, వాటిని హై-గ్రేడ్ క్లీన్ సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ ప్రక్రియలకు బాగా సరిపోతాయి.

3. అద్భుతమైన మన్నిక మరియు దీర్ఘకాలిక స్థిరత్వం

ఉత్పత్తి లైన్లలో ఉపయోగించే వాక్యూమ్ చక్‌లు వేలకొద్దీ శోషణ మరియు విడుదల చక్రాలను, అలాగే దీర్ఘకాలిక ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులను తట్టుకోవాలి. ఇది వాక్యూమ్ చక్స్ యొక్క మెటీరియల్ పనితీరుపై చాలా ఎక్కువ అవసరాలను విధిస్తుంది. సెమికోరెక్స్ పోరస్ SiC వాక్యూమ్ చక్‌లు అత్యద్భుతమైన మెటీరియల్ కాఠిన్యం మరియు వేర్ రెసిస్టెన్స్, స్థిరమైన ఉష్ణ విస్తరణతో ఉంటాయి. వారు అధిక-ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితుల్లో ఎటువంటి క్రీప్ లేదా పనితీరు క్షీణతను చూపరు, ఇది వారి సేవా జీవితాన్ని గణనీయంగా పొడిగిస్తుంది మరియు కాంపోనెంట్ మెయింటెనెన్స్ మరియు రీప్లేస్‌మెంట్ ఫ్రీక్వెన్సీని తగ్గిస్తుంది.