SiC సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్

వారు మూర్ యొక్క చట్టం కోసం ప్రయత్నిస్తున్నప్పుడు, సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ సౌకర్యాలకు పొర-పట్టుకునే ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు అవసరమవుతాయి, ఇవి తీవ్రమైన యాంత్రిక శక్తులను తట్టుకోగలవు మరియు గడ్డలు లేదా డిప్‌లు లేకుండా ఫ్లాట్‌గా ఉంటాయి. సెమికోరెక్స్ SiC సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్ సాంప్రదాయ అల్యూమినా మరియు స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ చక్‌లను భర్తీ చేయడానికి సరైన పరిష్కారాన్ని అందిస్తుంది; అవి బరువు నిష్పత్తికి అవసరమైన దృఢత్వాన్ని అందిస్తాయి మరియు రసాయనికంగా స్పందించవు, రెండూ 300mm పొరలను మరియు అంతకు మించి ప్రాసెస్ చేయడానికి అవసరం.

1. సింటర్డ్ డెన్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SSiC)ని ఉపయోగించడం ద్వారా మెటీరియల్ ప్రయోజనాలు.

మా యొక్క ప్రధాన భాగంSiC సిరామిక్వాక్యూమ్ చక్ సింటర్ చేయబడిందిసిలికాన్ కార్బైడ్, చాలా బలమైన సమయోజనీయ బంధం ద్వారా నిర్వచించబడిన పదార్థం. మా SSiC పోరస్ లేదా ప్రతిచర్య బంధం కాదు; బదులుగా, దాదాపుగా సైద్ధాంతిక సాంద్రత (> 3.10 గ్రా/సెం 3) సాధించడానికి > 2000 డిగ్రీల సెల్సియస్ వద్ద సింటర్ చేయబడింది - సరళంగా చెప్పాలంటే, వాక్యూమ్ చక్‌లను తయారు చేయడానికి ఉపయోగించే ఇతర పదార్థాల కంటే ఇది చాలా ఘనమైనది.

అసాధారణమైన మెకానికల్ దృఢత్వం.

యంగ్స్ మాడ్యులస్ ఆఫ్ SSiC సుమారుగా 420 GPa, కాబట్టి ఇది అల్యూమినా (సుమారు 380 GPa) కంటే చాలా దృఢంగా ఉంటుంది. స్థితిస్థాపకత యొక్క ఈ అధిక మాడ్యులస్ కారణంగా, మా చక్స్ వాక్యూమ్ మరియు హై స్పీడ్ రొటేషన్ పరిస్థితుల్లో స్థిరంగా ఉంటాయి మరియు వైకల్యం చెందవు; అందువల్ల, పొరలు "బంగాళదుంప చిప్" (అనగా, వార్ప్) చేయవు మరియు వాటి మొత్తం ఉపరితల వైశాల్యంలో ఎల్లప్పుడూ ఏకరీతి సంబంధాన్ని కలిగి ఉంటాయి.

థర్మల్ స్టెబిలిటీ మరియు తక్కువ CTE

అధిక-తీవ్రత UV కాంతి లేదా రాపిడి-ప్రేరిత వేడిని కలిగి ఉన్న ప్రక్రియలలో, ఉష్ణ విస్తరణ అతివ్యాప్తి లోపాలకు దారి తీస్తుంది. మా SiC చక్‌లు 4.0 x 10^{-6}/K యొక్క తక్కువ గుణకం థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ (CTE)ని కలిగి ఉంటాయి, దానితో పాటు అధిక ఉష్ణ వాహకత (>120W/m·K). ఈ కలయిక చక్ వేడిని వేగంగా వెదజల్లడానికి అనుమతిస్తుంది, దీర్ఘ-కాల లితోగ్రఫీ లేదా మెట్రాలజీ సైకిల్స్ సమయంలో డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని కొనసాగిస్తుంది.

2. ప్రెసిషన్ ఇంజనీరింగ్ మరియు డిజైన్

ఉత్పత్తి చిత్రంలో కనిపించే విధంగా, మా వాక్యూమ్ చక్‌లు కేంద్రీకృత మరియు రేడియల్ వాక్యూమ్ ఛానెల్‌ల యొక్క క్లిష్టమైన నెట్‌వర్క్‌ను కలిగి ఉంటాయి. పొర అంతటా ఏకరీతి చూషణను నిర్ధారించడానికి, పొర విచ్ఛిన్నానికి దారితీసే స్థానికీకరించిన ఒత్తిడి పాయింట్లను కనిష్టీకరించడానికి ఇవి CNC-యంత్రంతో అత్యంత ఖచ్చితత్వంతో ఉంటాయి.

సబ్-మైక్రాన్ ఫ్లాట్‌నెస్: <1μm గ్లోబల్ ఫ్లాట్‌నెస్ సాధించడానికి మేము అధునాతన డైమండ్ గ్రౌండింగ్ మరియు ల్యాపింగ్ టెక్నిక్‌లను ఉపయోగిస్తాము. అధునాతన లితోగ్రఫీ నోడ్‌లలో అవసరమైన ఫోకల్ డెప్త్‌ను నిర్వహించడానికి ఇది కీలకం.

లైట్ వెయిటింగ్ (ఐచ్ఛికం): స్టెప్పర్లు మరియు స్కానర్‌లలో అధిక-త్వరణం దశలకు అనుగుణంగా, మేము నిర్మాణ దృఢత్వాన్ని రాజీ పడకుండా ద్రవ్యరాశిని తగ్గించే అంతర్గత తేనెగూడు "లైట్ వెయిటింగ్" నిర్మాణాలను అందిస్తాము.

పెరిమీటర్ అలైన్‌మెంట్ నాచెస్: ప్రాసెస్ టూల్‌లోని రోబోటిక్ ఎండ్-ఎఫెక్టర్‌లు మరియు అలైన్‌మెంట్ సెన్సార్‌లతో అతుకులు లేని ఏకీకరణకు ఇంటిగ్రేటెడ్ నోచెస్ అనుమతిస్తాయి.

3. సెమీకండక్టర్ సప్లై చైన్‌లో క్లిష్టమైన అప్లికేషన్‌లు

మా SiC సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్స్ పరిశ్రమ ప్రమాణాలు:

వేఫర్ సన్నబడటం & గ్రైండింగ్ (CMP): అంచు చిప్పింగ్ లేకుండా మైక్రాన్ స్థాయి వరకు సన్నని పొరలకు అవసరమైన దృఢమైన మద్దతును అందించడం.

లితోగ్రఫీ (స్టెప్పర్స్/స్కానర్‌లు): ఉప-7nm నోడ్‌ల కోసం ఖచ్చితమైన లేజర్ ఫోకస్‌ని నిర్ధారిస్తూ అల్ట్రా-ఫ్లాట్ "స్టేజ్" వలె పని చేస్తుంది.

మెట్రాలజీ & AOI: హై-రిజల్యూషన్ తనిఖీ మరియు లోపం మ్యాపింగ్ కోసం పొరలు ఖచ్చితంగా ఫ్లాట్‌గా ఉన్నాయని నిర్ధారించడం.

వేఫర్ డైసింగ్: హై-స్పీడ్ మెకానికల్ లేదా లేజర్ డైసింగ్ కార్యకలాపాల సమయంలో స్థిరమైన చూషణను అందించడం.

సెమికోరెక్స్‌లో, వాక్యూమ్ చక్ దాని ఉపరితల సమగ్రత అంత మంచిదని మేము అర్థం చేసుకున్నాము. ప్రతి చక్ బహుళ-దశల నాణ్యత నియంత్రణ ప్రక్రియకు లోనవుతుంది:

లేజర్ ఇంటర్‌ఫెరోమెట్రీ: మొత్తం వ్యాసంలో ఫ్లాట్‌నెస్‌ని ధృవీకరించడానికి.

హీలియం లీక్ టెస్టింగ్: వాక్యూమ్ ఛానెల్‌లు సంపూర్ణంగా సీలు చేయబడి సమర్థవంతంగా ఉన్నాయని నిర్ధారించడం.

క్లీన్‌రూమ్ క్లీనింగ్: జీరో మెటాలిక్ లేదా ఆర్గానిక్ కాలుష్యాన్ని నిర్ధారించడానికి 100వ తరగతి పరిసరాలలో ప్రాసెస్ చేయబడింది.

స్లాట్ నమూనాలు, కొలతలు మరియు మౌంటు ఇంటర్‌ఫేస్‌లను అనుకూలీకరించడానికి మా ఇంజనీరింగ్ బృందం OEM టూల్ తయారీదారులతో కలిసి పని చేస్తుంది. సెమికోరెక్స్‌ని ఎంచుకోవడం ద్వారా, మీరు పనికిరాని సమయాన్ని తగ్గించే, ఓవర్‌లే ఖచ్చితత్వాన్ని మెరుగుపరిచే మరియు విపరీతమైన మన్నిక ద్వారా మీ మొత్తం యాజమాన్య వ్యయాన్ని తగ్గించే కాంపోనెంట్‌లో పెట్టుబడి పెడుతున్నారు.