SiC వేఫర్ బోట్ క్యారియర్

సెమీకండక్టర్ తయారీలో వేగంగా అభివృద్ధి చెందుతున్న ప్రకృతి దృశ్యంలో-ప్రత్యేకంగా EVలు, 5G ​​మౌలిక సదుపాయాలు మరియు పునరుత్పాదక శక్తి కోసం SiC మరియు GaN పవర్ పరికరాల ఉత్పత్తి-మీ పొర హ్యాండ్‌వేర్ హార్డ్‌వేర్ యొక్క విశ్వసనీయత చర్చించబడదు. సెమికోరెక్స్ SiC వేఫర్ బోట్ క్యారియర్ మెటీరియల్ ఇంజనీరింగ్ యొక్క పరాకాష్టను సూచిస్తుంది, అధిక-ఉష్ణోగ్రత, అధిక-స్వచ్ఛత వాతావరణంలో సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ మరియు గ్రాఫైట్ భాగాలను భర్తీ చేయడానికి రూపొందించబడింది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎందుకు పరిశ్రమ ఎంపిక

సెమీకండక్టర్ నోడ్‌లు కుంచించుకుపోవడం మరియు పొర పరిమాణాలు 200mm (8-అంగుళాల) వైపు మారడం వలన, క్వార్ట్జ్ యొక్క ఉష్ణ మరియు రసాయన పరిమితులు అడ్డంకిగా మారతాయి. మా SiC వేఫర్ బోట్ క్యారియర్ ఉపయోగించి ఇంజనీరింగ్ చేయబడిందిసింటెర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్లేదా CVD-కోటెడ్ SiC, ఉష్ణ వాహకత, యాంత్రిక బలం మరియు రసాయన జడత్వం యొక్క ప్రత్యేక కలయికను అందిస్తోంది.

1. అసాధారణమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం

వ్యాప్తి మరియు ఎనియలింగ్ కోసం అవసరమైన తీవ్ర ఉష్ణోగ్రతలకు గురైనప్పుడు సాంప్రదాయ పదార్థాలు తరచుగా "స్లంపింగ్" లేదా వైకల్యంతో బాధపడుతుంటాయి. మా SiC వేఫర్ బోట్ క్యారియర్ 1,600°C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద నిర్మాణ సమగ్రతను నిర్వహిస్తుంది. ఈ అధిక ఉష్ణ స్థిరత్వం పొర స్లాట్‌లు సంపూర్ణంగా సమలేఖనం చేయబడిందని నిర్ధారిస్తుంది, ఆటోమేటెడ్ రోబోటిక్ బదిలీల సమయంలో పొర "రాటిల్" లేదా జామింగ్‌ను నివారిస్తుంది.

2. అధిక స్వచ్ఛత మరియు తక్కువ కాలుష్యం

శుభ్రమైన గది వాతావరణంలో, కణాలు దిగుబడికి శత్రువు. మా బోట్ క్యారియర్లు యాజమాన్య CVD (రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) పూత ప్రక్రియకు లోనవుతాయి. ఇది దట్టమైన, నాన్-పోరస్ ఉపరితలాన్ని సృష్టిస్తుంది, ఇది మలినం అవుట్‌గ్యాసింగ్‌కు వ్యతిరేకంగా అవరోధంగా పనిచేస్తుంది. అతి తక్కువ మెటాలిక్ ఇంప్యూరిటీ లెవల్స్‌తో, మీ పొరలు—సిలికాన్ లేదా సిలికాన్ కార్బైడ్ అయినా—క్లిష్టమైన అధిక-వేడి చక్రాల సమయంలో క్రాస్-కాలుష్యం లేకుండా ఉండేలా మా క్యారియర్‌లు నిర్ధారిస్తాయి.

3. సరిపోలిన CTE (కోఎఫీషియంట్ ఆఫ్ థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్)

పొర ఒత్తిడి మరియు స్లిప్ లైన్‌లకు ప్రాథమిక కారణాలలో ఒకటి క్యారియర్ మరియు వేఫర్ మధ్య ఉష్ణ విస్తరణలో అసమతుల్యత. మా SiC పడవలు SiC పొరలకు దగ్గరగా సరిపోలే CTEతో రూపొందించబడ్డాయి. ఈ సమకాలీకరణ వేగవంతమైన వేడి మరియు శీతలీకరణ దశల (RTP) సమయంలో యాంత్రిక ఒత్తిడిని తగ్గిస్తుంది, మొత్తం డై దిగుబడిని గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది.

కీలక సాంకేతిక లక్షణాలు

అడ్వాన్స్‌డ్ ఫ్యాబ్రికేషన్‌లో అప్లికేషన్‌లు

మా SiC వేఫర్ బోట్ క్యారియర్ ఫ్యాబ్‌లో అత్యంత డిమాండ్ ఉన్న "హాట్ జోన్" ప్రక్రియల కోసం ఆప్టిమైజ్ చేయబడింది:

• LPCVD & PECVD: రసాయన పూర్వగాములకు అధిక ప్రతిఘటన పడవ అధోకరణం చెందకుండా నిరోధిస్తుంది, స్థిరమైన ప్రక్రియ కిట్ జీవితకాలాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.
• అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణం: క్వార్ట్జ్ వలె కాకుండా, SiC వేలకొలది చక్రాల మీద దాని బలాన్ని కాపాడుకుంటూ, విచలనం చెందదు.
• వ్యాప్తి మరియు ఎనియలింగ్: పడవ అంతటా ఉన్నతమైన ఉష్ణ ఏకరూపత బ్యాచ్‌లోని ప్రతి పొర ఖచ్చితమైన థర్మల్ ప్రొఫైల్‌ను అనుభవించేలా చేస్తుంది.
• SiC ఎపిటాక్సీ: SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లపై పెరుగుతున్న ఎపిటాక్సియల్ లేయర్‌లకు అవసరమైన కఠినమైన వాతావరణాలను తట్టుకునేలా ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది.

మన్నిక ఖర్చు-సమర్థతను కలుస్తుంది

SiC హార్డ్‌వేర్‌లో ప్రారంభ పెట్టుబడి క్వార్ట్జ్ కంటే ఎక్కువగా ఉన్నప్పటికీ, యాజమాన్యం యొక్క మొత్తం వ్యయం (TCO) గణనీయంగా తక్కువగా ఉంది. మా క్యారియర్‌లు దీర్ఘాయువు కోసం నిర్మించబడ్డాయి, తరచుగా సాంప్రదాయ పదార్థాల కంటే 5 నుండి 10 రెట్లు ఎక్కువ కాలం ఉంటాయి. ఇది విడిభాగాల భర్తీ కోసం సాధనం పనికిరాని సమయం యొక్క ఫ్రీక్వెన్సీని తగ్గిస్తుంది మరియు ఖరీదైన పొరల మొత్తం బ్యాచ్‌ను నాశనం చేసే విపత్తు బోట్ వైఫల్యం యొక్క ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది.

నిరూపితమైన ఇంజనీరింగ్‌కు మీ ప్రక్రియను విశ్వసించండి

సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో, "మంచిది" ఎప్పటికీ సరిపోదని మేము అర్థం చేసుకున్నాము. మా తయారీ ప్రక్రియలో వాక్యూమ్ ప్యాకేజింగ్‌కు ముందు 100% CMM డైమెన్షనల్ ఇన్స్‌పెక్షన్ మరియు హై-ప్యూరిటీ అల్ట్రాసోనిక్ క్లీనింగ్ ఉంటాయి.

మీరు 200mm SiC పవర్ డివైజ్ లైన్‌ను పెంచుతున్నా లేదా లెగసీ 150mm ప్రాసెస్‌ని ఆప్టిమైజ్ చేస్తున్నా, మీ నిర్దిష్ట ఫర్నేస్ అవసరాలకు సరిపోయేలా స్లాట్ పిచ్, బోట్ పొడవు మరియు కాన్ఫిగరేషన్‌లను అనుకూలీకరించడానికి మా ఇంజనీరింగ్ బృందం అందుబాటులో ఉంది.