సిలికాన్ కార్బైడ్ పడవలు

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ బోట్లు అసాధారణమైన ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని ప్రదర్శిస్తాయి, ఇవి ఆక్సీకరణ మరియు విస్తరణ ప్రక్రియలకు అవసరమైన తీవ్రమైన ఉష్ణోగ్రతను తట్టుకోవడానికి వీలు కల్పిస్తాయి. వారి అద్భుతమైన థర్మల్ షాక్ నిరోధకత పగుళ్లు లేదా వైకల్యం యొక్క ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది, సుదీర్ఘ కార్యాచరణ దీర్ఘాయువును నిర్ధారిస్తుంది. అధిక-సాంద్రత కలిగిన SIC కూర్పు ఉన్నతమైన యాంత్రిక బలాన్ని అందిస్తుంది, నిరంతర థర్మల్ సైక్లింగ్ కింద కూడా నిర్మాణ సమగ్రతను నిర్వహిస్తుంది. యాంత్రిక ఒత్తిడికి ఈ అసాధారణమైన ప్రతిఘటన పొర కాలుష్యం మరియు విచ్ఛిన్నం యొక్క సంభావ్యతను తగ్గిస్తుంది, ఇది అధిక ప్రక్రియ దిగుబడికి దోహదం చేస్తుంది. ఇంకా, SIC పడవలు అత్యుత్తమ రసాయన నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి, ఆక్సీకరణ మరియు విస్తరణ దశలలో ఉపయోగించే దూకుడు ప్రక్రియ వాయువులకు జడంగా మిగిలి ఉన్నాయి. ఈ లక్షణం పొర స్వచ్ఛత మరియు ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని రాజీ చేయగల అవాంఛిత ప్రతిచర్యలను నిరోధిస్తుంది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ పడవలు ప్రధానంగా ఆక్సీకరణ మరియు వ్యాప్తి కొలిమిలలో ఉపయోగించబడతాయి, ఇక్కడ అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు రియాక్టివ్ వాయువులకు పొరలను బహిర్గతం చేయడంపై ఖచ్చితమైన నియంత్రణ అవసరం. అధిక-నాణ్యత సిలికాన్ డయాక్సైడ్ పొరలను పెంచడానికి థర్మల్ ఆక్సీకరణ సమయంలో పొరలకు మద్దతు ఇస్తారు మరియు డోపాంట్ వాయువులకు నియంత్రిత బహిర్గతం ద్వారా ఏకరీతి డోపింగ్‌ను సులభతరం చేస్తారు. అదనంగా, అవి ఎనియలింగ్ మరియు ఇతర అధిక-ఉష్ణోగ్రత చికిత్సలకు స్థిరమైన వేదికను అందిస్తాయి, ఇవి సుదీర్ఘ వేడి బహిర్గతం అవసరం.

సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ మరియు గ్రాఫైట్ బోట్లతో పోలిస్తే, సిలికాన్ కార్బైడ్ పడవలు సరిపోలని మన్నిక, దీర్ఘాయువు మరియు పనితీరును అందిస్తాయి. కాలుష్యాన్ని తగ్గించేటప్పుడు కఠినమైన ఉష్ణ మరియు రసాయన వాతావరణాలను తట్టుకునే వారి సామర్థ్యం అధిక-ఖచ్చితమైన సెమీకండక్టర్ తయారీకి ఇష్టపడే ఎంపికగా చేస్తుంది. నాణ్యత మరియు ఆవిష్కరణలపై దృష్టి సారించి, మా సిలికాన్ కార్బైడ్ పడవలు ఉన్నతమైన పనితీరును అందిస్తాయి, ప్రపంచవ్యాప్తంగా సెమీకండక్టర్ తయారీదారుల కోసం అధిక దిగుబడి మరియు సమర్థవంతమైన పొర ప్రాసెసింగ్‌ను నిర్ధారిస్తాయి. అధునాతన నోడ్ టెక్నాలజీస్ లేదా లెగసీ సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ కోసం, ఈ పడవలు కఠినమైన పరిశ్రమ అవసరాలను తీర్చడానికి నమ్మదగిన పరిష్కారాన్ని అందిస్తాయి.

.

(2) ఏకరీతి తాపన: సిలికాన్ కార్బైడ్ పడవ ఉష్ణ చికిత్స ప్రక్రియలో లోపల పొరలను సమానంగా వేడి చేయడానికి అనుమతిస్తుంది. పొర యొక్క ప్రతి భాగం యొక్క ఉష్ణోగ్రత మరియు ప్రతిచర్య రేటు ఉష్ణ చికిత్స ప్రక్రియలో స్థిరంగా ఉండేలా చూడటానికి సహాయపడుతుంది, తద్వారా పొర యొక్క దిగుబడి మరియు నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది.

ప్రస్తుతం మూడు ప్రధాన రకాలు ఉన్నాయిసిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్పదార్థాలు: ప్రతిచర్య సింటరింగ్, ఒత్తిడిలేని సింటరింగ్ మరియు రీక్రిస్టలైజేషన్ సింటరింగ్. చాలా అనువర్తనాల్లో, ప్రతిచర్య సైనర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ మరింత సరిఅయిన మరియు ఖర్చుతో కూడుకున్న ఉత్పత్తి. పున ry స్థాపించబడిన SIC పడవలు సాధారణంగా సింటర్ మరియు మొదట అనేక యూనిట్ భాగాలను ప్రాసెస్ చేస్తాయి, తరువాత SI పేస్ట్‌ను అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద పడవలో కలపడానికి ఉపయోగిస్తాయి మరియు చివరకు CVD-SIC పూత (సుమారు 100UM) ను వర్తించండి. రీక్రిస్టలైజేషన్ పోరస్ కాబట్టి, SIC పూత లేకపోతే, ఇది సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలో పాక్షికాలను కూడా పరిచయం చేస్తుంది. CVD-SIC పూతతో ఈ రకమైన పున ry స్థాపించబడిన SIC పడవ పొడవైన తయారీ ప్రక్రియను కలిగి ఉంది మరియు ఇది చాలా ఖరీదైనది. SIC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బోట్లతో పోలిస్తే, CVD-SIC పూత పున ry స్థాపించబడిన SIC పడవలకు CTE అసమతుల్యత సమస్య లేదు.