సిలికాన్ వేఫర్ క్యారియర్

సెమీకోరెక్స్ మీ OEM సెమీ ఫ్యాబ్రికేషన్ టూల్స్ మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలలో సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్‌లపై దృష్టి సారించే వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ కాంపోనెంట్‌ల కోసం సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ సిరామిక్‌లను అందిస్తుంది. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా సిలికాన్ వేఫర్ క్యారియర్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా ఉన్నాము. మా సిలికాన్ వేఫర్ క్యారియర్ మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు చాలా యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్‌లను కవర్ చేస్తుంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

సెమీకండక్టర్ నిక్షేపణ ప్రక్రియలు అస్థిర పూర్వగామి వాయువులు, ప్లాస్మా మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల కలయికను ఉపయోగించి పొరలపై అధిక నాణ్యత గల సన్నని చలనచిత్రాలను పొరలుగా ఉంచుతాయి. డిపాజిషన్ ఛాంబర్‌లు మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ టూల్స్‌కు ఈ సవాలుతో కూడిన వాతావరణంలో నిలబడటానికి మన్నికైన సిరామిక్ భాగాలు అవసరం.
సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ వేఫర్ క్యారియర్ అనేది అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్, ఇది అధిక తుప్పు మరియు ఉష్ణ నిరోధక లక్షణాలను అలాగే అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది.

సిలికాన్ వేఫర్ క్యారియర్ యొక్క పారామితులు

సాంకేతిక లక్షణాలు
సూచిక	యూనిట్	విలువ
మెటీరియల్ పేరు		రియాక్షన్ సింటర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్	ప్రెజర్‌లెస్ సింటర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్	రీక్రిస్టలైజ్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్
కూర్పు		RBSiC	SSiC	R-SiC
బల్క్ డెన్సిటీ	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
సంపీడన బలం	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
కాఠిన్యం	బటన్	2700	2800	/
బ్రేకింగ్ టెనాసిటీ	MPa m1/2	4.5	4	/
ఉష్ణ వాహకత	W/m.k	95	120	23
థర్మల్ విస్తరణ యొక్క గుణకం	10^-6.1/°C	5	4	4.7
నిర్దిష్ట వేడి	జూల్/గ్రా 0కే	0.8	0.67	/
గాలిలో గరిష్ట ఉష్ణోగ్రత	℃	1200	1500	1600
సాగే మాడ్యులస్	Gpa	360	410	240

SSiC మరియు RBSiC మధ్య వ్యత్యాసం:

1. సింటరింగ్ ప్రక్రియ భిన్నంగా ఉంటుంది. RBSiC అనేది తక్కువ ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఉచిత Siని సిలికాన్ కార్బైడ్‌లోకి చొప్పించడం, SSiC 2100 డిగ్రీల వద్ద సహజ సంకోచం ద్వారా ఏర్పడుతుంది.

2. SSiC మృదువైన ఉపరితలం, అధిక సాంద్రత మరియు అధిక బలాన్ని కలిగి ఉంటుంది, మరింత కఠినమైన ఉపరితల అవసరాలు కలిగిన కొన్ని సీలింగ్‌ల కోసం, SSiC మెరుగ్గా ఉంటుంది.

3. వేర్వేరు PH మరియు ఉష్ణోగ్రత కింద వేర్వేరు సమయం, SSiC RBSiC కంటే ఎక్కువ

సిలికాన్ వేఫర్ క్యారియర్ యొక్క లక్షణాలు

అధిక స్వచ్ఛత SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్
సుపీరియర్ హీట్ రెసిస్టెన్స్ & థర్మల్ ఏకరూపత
ఒక మృదువైన ఉపరితలం కోసం ఫైన్ SiC క్రిస్టల్ పూత
రసాయన శుభ్రపరచడానికి వ్యతిరేకంగా అధిక మన్నిక
పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ జరగకుండా మెటీరియల్ రూపొందించబడింది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ యొక్క అందుబాటులో ఉన్న ఆకారాలు:

● సిరామిక్ రాడ్ / సిరామిక్ పిన్ / సిరామిక్ ప్లంగర్

● సిరామిక్ ట్యూబ్ / సిరామిక్ బుషింగ్ / సిరామిక్ స్లీవ్

● సిరామిక్ రింగ్ / సిరామిక్ వాషర్ / సిరామిక్ స్పేసర్

● సిరామిక్ డిస్క్

● సిరామిక్ ప్లేట్ / సిరామిక్ బ్లాక్

● సిరామిక్ బాల్

● సిరామిక్ పిస్టన్

● సిరామిక్ నాజిల్

● సిరామిక్ క్రూసిబుల్

● ఇతర అనుకూల సిరామిక్ భాగాలు