సెమీకోరెక్స్ SiSiC వేఫర్ బోట్ అనేది సెమీకండక్టర్లో కీలకమైన భాగం, ఇది CVD పూతతో కూడిన అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్తో తయారు చేయబడింది. సెమికోరెక్స్ కస్టమర్ అవసరాల ఆధారంగా అత్యంత అనుకూలమైన పరిష్కారాలను అందించగలదు మరియు ప్రపంచవ్యాప్తంగా ఉన్న భాగస్వాముల ద్వారా అర్హత పొందింది.*
సెమీకండక్టర్ మరియు సౌర ఘటాల తయారీ యొక్క పోటీ ప్రకృతి దృశ్యంలో, కాంపోనెంట్ దీర్ఘాయువుతో త్రూపుట్ బ్యాలెన్సింగ్ అవసరం. మాSiSiC వేఫర్ బోట్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత కొలిమి కార్యకలాపాల కోసం "పారిశ్రామిక వర్క్హోర్స్"గా రూపొందించబడింది. రియాక్షన్-బాండింగ్ ప్రక్రియను ఉపయోగించడం ద్వారా, సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ మరియు స్టాండర్డ్ సిరామిక్స్తో పోలిస్తే అత్యుత్తమ మెకానికల్ బలం మరియు థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్ను అందించే క్యారియర్ను మేము పంపిణీ చేస్తాము.
అధిక పీడన పౌడర్ ఏకీకరణ ద్వారా ఏర్పడిన సింటెర్డ్ SiC వలె కాకుండా,SiSiC వేఫర్ బోట్ కరిగిన సిలికాన్తో పోరస్ కార్బన్ ప్రిఫార్మ్లోకి చొరబడడం ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడుతుంది. ఈ "రియాక్షన్ బాండింగ్" ప్రక్రియ తయారీ సమయంలో దాదాపు సున్నా సంకోచంతో కూడిన పదార్థానికి దారి తీస్తుంది, ఇది అద్భుతమైన డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వంతో సంక్లిష్టమైన, పెద్ద-స్థాయి పడవ నిర్మాణాలను ఉత్పత్తి చేయడానికి అనుమతిస్తుంది.
బ్యాచ్ ప్రాసెసింగ్లో అత్యంత క్లిష్టమైన సవాళ్లలో ఒకటి ఫర్నేస్ యొక్క వేగవంతమైన "పుష్-పుల్" చక్రం. క్వార్ట్జ్ క్యారియర్లు తరచుగా ఉష్ణ ఒత్తిడిలో పగుళ్లు ఏర్పడతాయి. SiSiC చీలిక (MOR) యొక్క అధిక మాడ్యులస్ మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంది. ఇది మా పడవలు నిర్మాణ వైఫల్యం ప్రమాదం లేకుండా వేగవంతమైన ఉష్ణోగ్రత ర్యాంపింగ్ను తట్టుకోగలవు, నేరుగా తక్కువ పరికరాల పనికిరాని సమయానికి అనువదిస్తుంది.
పొర పరిమాణాలు పెరుగుతాయి మరియు నిర్గమాంశను పెంచడానికి బ్యాచ్లు పెద్దవిగా మారినప్పుడు, క్యారియర్పై బరువు పెరుగుతుంది. మా SiSiC పడవలు అసాధారణమైన క్రీప్ నిరోధకతను ప్రదర్శిస్తాయి. ఇతర పదార్థాలు 1,250°C వద్ద భారీ లోడ్ల కింద కుంగిపోవచ్చు లేదా వార్ప్ కావచ్చు, SiSiC దాని జ్యామితిని నిర్వహిస్తుంది, వేఫర్ స్లాట్ సమాంతరత వేల సైకిళ్లలో పరిపూర్ణంగా ఉండేలా చూస్తుంది.
మా SiSiC పడవలు కఠినమైన రసాయన వాతావరణాల కోసం రూపొందించబడ్డాయి. పదార్థం సహజంగా LPCVD మరియు వ్యాప్తి ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే తినివేయు వాయువులకు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. అంతేకాకుండా, మీ పొరల యొక్క విద్యుత్ సమగ్రతను రక్షించే స్థిరమైన, స్వచ్ఛమైన వాతావరణాన్ని అందించడం ద్వారా "ఉచిత సిలికాన్" వలసలు లేవని నిర్ధారించడానికి ఉపరితలం చికిత్స చేయబడుతుంది.
| ఆస్తి |
SiSiC (ప్రతిచర్య బంధం) |
సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ |
పారిశ్రామిక ప్రయోజనం |
| గరిష్ట వినియోగం టెంప్ |
1,350°C – 1,380°C |
~1,100°C |
అధిక ప్రక్రియ వశ్యత |
| ఉష్ణ వాహకత |
> 150 W/m·K |
1.4 W/m·K |
వేగవంతమైన, ఏకరీతి తాపన |
| సాగే మాడ్యులస్ |
~330 GPa |
~70 GPa |
అధిక భారం కింద కుంగిపోదు |
| సచ్ఛిద్రత |
< 0.1% |
0% |
కనీస వాయువు శోషణ |
| సాంద్రత |
3.02 - 3.10 గ్రా/సెం³ |
2.20 గ్రా/సెం³ |
అధిక నిర్మాణ స్థిరత్వం |
మా SiSiC వేఫర్ బోట్ TEL (టోక్యో ఎలక్ట్రాన్), ASM మరియు కొకుసాయి ఎలక్ట్రిక్తో సహా ప్రపంచంలోని ప్రముఖ ఫర్నేస్ OEMలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది. మేము దీని కోసం అనుకూలీకరించిన పరిష్కారాలను అందిస్తాము:
క్షితిజసమాంతర వ్యాప్తి ఫర్నేసులు: 150mm మరియు 200mm పొరల కోసం అధిక-ఖచ్చితమైన స్లాటింగ్తో పొడవైన-పొడవు పడవలు.
వర్టికల్ ఫర్నేస్ సిస్టమ్స్: గ్యాస్ ఫ్లో మరియు థర్మల్ ఏకరూపతను ఆప్టిమైజ్ చేసే తక్కువ-మాస్ డిజైన్లు.
సౌర PV సెల్ ఉత్పత్తి: అధిక-వాల్యూమ్ POCl3 వ్యాప్తి కోసం రూపొందించబడిన ప్రత్యేక SiSiC క్యారియర్లు, క్వార్ట్జ్ కంటే 5-10x ఎక్కువ సేవా జీవితాన్ని అందిస్తాయి.
నిపుణుల అంతర్దృష్టి: 1,380°C కంటే ఎక్కువ ప్రాసెస్ల కోసం, మేము మా Sintered SiC లైన్ని సిఫార్సు చేస్తున్నాము. అయినప్పటికీ, డిఫ్యూజన్, ఆక్సీకరణ మరియు LPCVD దశల్లో ఎక్కువ భాగం కోసం, SiSiC పరిశ్రమలో అత్యంత ఖర్చుతో కూడుకున్న పనితీరు-జీవితకాలం నిష్పత్తిని అందిస్తుంది.
మెటీరియల్ నైపుణ్యం: మేము మా ప్రతిచర్య బంధ ప్రక్రియ కోసం అధిక స్వచ్ఛత ఆల్ఫా-SiC పౌడర్ మరియు ఎలక్ట్రానిక్ గ్రేడ్ సిలికాన్ను మాత్రమే అందిస్తాము.
ప్రెసిషన్ ఇంజినీరింగ్: మా CNC గ్రౌండింగ్ సామర్థ్యాలు ±0.02mm లోపల స్లాట్ టాలరెన్స్లను అనుమతిస్తాయి, ఇది పొర వైబ్రేషన్ మరియు బ్రేకేజీని తగ్గిస్తుంది.
సస్టైనబిలిటీ & ROI: క్వార్ట్జ్ నుండి SiSiCకి మారడం ద్వారా, ఫాబ్లు సాధారణంగా రీప్లేస్మెంట్ ఫ్రీక్వెన్సీ గణనీయంగా తగ్గిన కారణంగా వార్షిక వినియోగ వ్యయంలో 40% తగ్గింపును చూస్తాయి.
మేము రవాణా చేసే ప్రతి బోట్కు సర్టిఫికేట్ ఆఫ్ కన్ఫార్మెన్స్ (CoC) మరియు పూర్తి డైమెన్షనల్ ఇన్స్పెక్షన్ రిపోర్ట్ ఉంటుంది, మీ ప్రాసెస్ కిట్ క్లీన్రూమ్లోకి తక్షణమే ఇన్స్టాలేషన్ కోసం సిద్ధంగా ఉందని నిర్ధారిస్తుంది.