సెమీకోరెక్స్ మీ OEM సెమీ ఫ్యాబ్రికేషన్ టూల్స్ మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలలో సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్లపై దృష్టి సారించే వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ కాంపోనెంట్ల కోసం సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ సిరామిక్లను అందిస్తుంది. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా వేఫర్ క్యారియర్ సెమీకండక్టర్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా ఉన్నాము. మా వేఫర్ క్యారియర్ సెమీకండక్టర్ మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు చాలా యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తుంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
సెమీకండక్టర్ నిక్షేపణ ప్రక్రియలు అస్థిర పూర్వగామి వాయువులు, ప్లాస్మా మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల కలయికను ఉపయోగించి పొరలపై అధిక నాణ్యత గల సన్నని చలనచిత్రాలను పొరలుగా ఉంచుతాయి. డిపాజిషన్ ఛాంబర్లు మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ టూల్స్కు ఈ సవాలుతో కూడిన వాతావరణంలో నిలబడటానికి మన్నికైన సిరామిక్ భాగాలు అవసరం. సెమికోరెక్స్ వేఫర్ క్యారియర్ సెమీకండక్టర్ అనేది అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్, ఇది అధిక తుప్పు మరియు ఉష్ణ నిరోధక లక్షణాలను అలాగే అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది.
మా వేఫర్ క్యారియర్ సెమీకండక్టర్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
వేఫర్ క్యారియర్ సెమీకండక్టర్ యొక్క పారామితులు
సాంకేతిక లక్షణాలు |
||||
సూచిక |
యూనిట్ |
విలువ |
||
మెటీరియల్ పేరు |
రియాక్షన్ సింటర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ |
ప్రెజర్లెస్ సింటర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ |
రీక్రిస్టలైజ్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ |
|
కూర్పు |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
బల్క్ డెన్సిటీ |
g/cm3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
సంపీడన బలం |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
కాఠిన్యం |
బటన్ |
2700 |
2800 |
/ |
బ్రేకింగ్ టెనాసిటీ |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
ఉష్ణ వాహకత |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
థర్మల్ విస్తరణ యొక్క గుణకం |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
నిర్దిష్ట వేడి |
జూల్/గ్రా 0కే |
0.8 |
0.67 |
/ |
గాలిలో గరిష్ట ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
సాగే మాడ్యులస్ |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
SSiC మరియు RBSiC మధ్య వ్యత్యాసం:
1. సింటరింగ్ ప్రక్రియ భిన్నంగా ఉంటుంది. RBSiC అనేది తక్కువ ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఉచిత Siని సిలికాన్ కార్బైడ్లోకి చొప్పించడం, SSiC 2100 డిగ్రీల వద్ద సహజ సంకోచం ద్వారా ఏర్పడుతుంది.
2. SSiC మృదువైన ఉపరితలం, అధిక సాంద్రత మరియు అధిక బలాన్ని కలిగి ఉంటుంది, మరింత కఠినమైన ఉపరితల అవసరాలు కలిగిన కొన్ని సీలింగ్ల కోసం, SSiC మెరుగ్గా ఉంటుంది.
3. వేర్వేరు PH మరియు ఉష్ణోగ్రత కింద వేర్వేరు సమయం, SSiC RBSiC కంటే ఎక్కువ
వేఫర్ క్యారియర్ సెమీకండక్టర్ యొక్క లక్షణాలు
- తక్కువ తరంగదైర్ఘ్యం విచలనం మరియు అధిక చిప్ దిగుబడి
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.
- టైటర్ డైమెన్షనల్ టాలరెన్స్లు అధిక ఉత్పత్తి దిగుబడికి మరియు తక్కువ ఖర్చులకు దారితీస్తాయి
- పిన్హోల్ నిరోధకత మరియు అధిక జీవితకాలం కోసం అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ మరియు SiC పూత
సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ యొక్క అందుబాటులో ఉన్న ఆకారాలు:
● సిరామిక్ రాడ్ / సిరామిక్ పిన్ / సిరామిక్ ప్లంగర్
● సిరామిక్ ట్యూబ్ / సిరామిక్ బుషింగ్ / సిరామిక్ స్లీవ్
● సిరామిక్ రింగ్ / సిరామిక్ వాషర్ / సిరామిక్ స్పేసర్
● సిరామిక్ డిస్క్
● సిరామిక్ ప్లేట్ / సిరామిక్ బ్లాక్
● సిరామిక్ బాల్
● సిరామిక్ పిస్టన్
● సిరామిక్ నాజిల్
● సిరామిక్ క్రూసిబుల్
● ఇతర అనుకూల సిరామిక్ భాగాలు