తరువాతి తరం లితోగ్రఫీ మరియు పొర-నిర్వహణ అనువర్తనాలకు పర్ఫెక్ట్, సెమికోరెక్స్ అల్ట్రా-ప్యూర్ సిరామిక్ భాగాలు కనిష్ట కాలుష్యాన్ని నిర్ధారిస్తాయి మరియు అనూహ్యంగా సుదీర్ఘ జీవిత పనితీరును అందిస్తాయి. మా వేఫర్ వాక్యూమ్ చక్ మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తుంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
సెమికోరెక్స్ అల్ట్రా-ఫ్లాట్ సిరామిక్ వేఫర్ వాక్యూమ్ చక్ అనేది వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రక్రియలో ఉపయోగించి అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన SiC పూత. MOCVD పరికరాల ద్వారా సెమీకండక్టర్ వేఫర్ వాక్యూమ్ చక్ కాంపౌండ్ గ్రోత్ అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది తీవ్రమైన వాతావరణంలో గొప్ప స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది మరియు సెమీకండక్టర్ పొర ప్రాసెసింగ్ కోసం దిగుబడి నిర్వహణను మెరుగుపరుస్తుంది. తక్కువ-ఉపరితల-పరిచయ కాన్ఫిగరేషన్లు సున్నితమైన అనువర్తనాల కోసం వెనుక వైపు కణాల ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తాయి.
సెమికోరెక్స్లో, మేము అధిక-నాణ్యత, తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన వేఫర్ వాక్యూమ్ చక్ను అందించడంపై దృష్టి పెడతాము, మేము కస్టమర్ సంతృప్తికి ప్రాధాన్యతనిస్తాము మరియు తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన పరిష్కారాలను అందిస్తాము. మేము మీ దీర్ఘ-కాల భాగస్వామిగా మారడానికి, అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తులను మరియు అసాధారణమైన కస్టమర్ సేవను అందించడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.
వేఫర్ వాక్యూమ్ చక్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
వేఫర్ వాక్యూమ్ చక్ యొక్క లక్షణాలు
● అల్ట్రా-ఫ్లాట్ సామర్థ్యాలు
● మిర్రర్ పాలిష్
● అసాధారణమైన తక్కువ బరువు
● అధిక దృఢత్వం
● తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ
● Φ 300 mm వ్యాసం మరియు అంతకు మించి
● విపరీతమైన దుస్తులు నిరోధకత