సెమీకోరెక్స్ అనేది సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో విశ్వసనీయమైన పేరు, సెమీకండక్టర్ కోసం అధిక-నాణ్యత MOCVD ప్లానెట్ ససెప్టర్ని అందిస్తుంది. మా ఉత్పత్తి అద్భుతమైన పనితీరు, స్థిరత్వం మరియు మన్నికను అందించగల క్యారియర్ కోసం వెతుకుతున్న సెమీకండక్టర్ తయారీదారుల నిర్దిష్ట అవసరాలను తీర్చడానికి రూపొందించబడింది. మా ఉత్పత్తి గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి మరియు మీ సెమీకండక్టర్ తయారీ అవసరాలకు మేము మీకు ఎలా సహాయపడగలమో తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
సెమీకండక్టర్ కోసం మా MOCVD ప్లానెట్ ససెప్టర్ అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకతను కలిగి ఉంది, 1600°C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద దాని స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది కూడా అత్యంత స్వచ్ఛమైనది, అధిక-ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడుతుంది, ఉత్పత్తి యొక్క ఏకరూపత మరియు స్థిరత్వం, థర్మల్ ప్రొఫైల్ మరియు లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాను కూడా నిర్ధారిస్తుంది.
సెమీకండక్టర్ కోసం మా MOCVD ప్లానెట్ ససెప్టర్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
సెమీకండక్టర్ కోసం MOCVD ప్లానెట్ ససెప్టర్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
MOCVD కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క లక్షణాలు
- పై తొక్కను నివారించండి మరియు అన్ని ఉపరితలంపై పూత ఉండేలా చూసుకోండి
అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత: 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది
అధిక స్వచ్ఛత: అధిక ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది.
తుప్పు నిరోధకత: అధిక కాఠిన్యం, దట్టమైన ఉపరితలం మరియు చక్కటి కణాలు.
తుప్పు నిరోధకత: యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలు.
- ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించండి
- థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వానికి హామీ ఇవ్వండి
- ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలు వ్యాప్తి చెందకుండా నిరోధించండి