MOCVD ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం సెమికోరెక్స్ RTP క్యారియర్ ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్తో సహా సెమీకండక్టర్ వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ అప్లికేషన్లకు అనువైనది. కార్బన్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు మరియు క్వార్ట్జ్ క్రూసిబుల్స్ గ్రాఫైట్, సిరామిక్స్ మొదలైన వాటి ఉపరితలంపై MOCVD ద్వారా ప్రాసెస్ చేయబడతాయి. మా ఉత్పత్తులు మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంటాయి మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తాయి. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
సెమికోరెక్స్ MOCVD ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం RTP క్యారియర్ను సరఫరా చేస్తుంది, ఇది పొరలకు మద్దతుగా ఉపయోగపడుతుంది, ఇది RTA, RTP లేదా కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ కోసం నిజంగా స్థిరంగా ఉంటుంది. ప్రక్రియ యొక్క ప్రధాన భాగంలో, ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్లు, మొదట నిక్షేపణ వాతావరణానికి లోబడి ఉంటాయి, కాబట్టి ఇది అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. SiC కోటెడ్ క్యారియర్ కూడా అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంది.
MOCVD ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం మా RTP క్యారియర్ ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, ఇది థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాపించకుండా నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.
MOCVD ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం మా RTP క్యారియర్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
MOCVD ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం RTP క్యారియర్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
MOCVD ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం RTP క్యారియర్ యొక్క లక్షణాలు
అధిక స్వచ్ఛత SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్
సుపీరియర్ హీట్ రెసిస్టెన్స్ & థర్మల్ ఏకరూపత
ఒక మృదువైన ఉపరితలం కోసం ఫైన్ SiC క్రిస్టల్ పూత
రసాయన శుభ్రపరచడానికి వ్యతిరేకంగా అధిక మన్నిక
పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ జరగకుండా మెటీరియల్ రూపొందించబడింది.