RTP RTA SiC కోటెడ్ క్యారియర్

సెమికోరెక్స్ అనేది చైనాలో సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క పెద్ద-స్థాయి తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు. సెమికోరెక్స్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ చైనాలో అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకత కలిగిన ఎపిటాక్సీ పరికరాల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. మా RTP RTA SiC కోటెడ్ క్యారియర్ మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్‌లను కవర్ చేస్తుంది. మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

సెమికోరెక్స్ RTP RTA SiC కోటెడ్ క్యారియర్‌ను వేఫర్‌లకు సపోర్ట్ చేయడానికి ఉపయోగించే సరఫరా చేస్తుంది, ఇది RTA, RTP లేదా కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ కోసం నిజంగా స్థిరంగా ఉంటుంది. అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ నిర్మాణంతో కూడిన RTP RTA SiC కోటెడ్ క్యారియర్ అత్యుత్తమ ఉష్ణ నిరోధకతను అందిస్తుంది, స్థిరమైన ఎపి పొర మందం మరియు ప్రతిఘటన కోసం ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను కూడా అందిస్తుంది. ఫైన్ SiC క్రిస్టల్ పూత శుభ్రమైన, మృదువైన ఉపరితలాన్ని అందిస్తుంది, సహజమైన పొరలు వాటి మొత్తం ప్రాంతంలోని అనేక పాయింట్ల వద్ద ససెప్టర్‌ను సంప్రదిస్తాయి కాబట్టి నిర్వహణకు కీలకం.
సెమికోరెక్స్‌లో, మేము అధిక-నాణ్యత, తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన RTP RTA SiC కోటెడ్ క్యారియర్‌ను అందించడంపై దృష్టి పెడతాము, మేము కస్టమర్ సంతృప్తికి ప్రాధాన్యతనిస్తాము మరియు తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన పరిష్కారాలను అందిస్తాము. మేము మీ దీర్ఘ-కాల భాగస్వామిగా మారడానికి, అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తులను మరియు అసాధారణమైన కస్టమర్ సేవను అందించడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.

RTP RTA SiC కోటెడ్ క్యారియర్ యొక్క పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
SiC-CVD లక్షణాలు
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β దశ
సాంద్రత	g/cm ³	3.21
కాఠిన్యం	వికర్స్ కాఠిన్యం	2500
ధాన్యం పరిమాణం	μm	2~10
రసాయన స్వచ్ఛత	%	99.99995
ఉష్ణ సామర్థ్యం	J kg-1 K-1	640
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	℃	2700
Felexural బలం	MPa (RT 4-పాయింట్)	415
యంగ్స్ మాడ్యులస్	Gpa (4pt బెండ్, 1300℃)	430
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ఉష్ణ వాహకత	(W/mK)	300

RTP RTA SiC కోటెడ్ క్యారియర్ యొక్క లక్షణాలు

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి.
- సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్‌ను కలిగి ఉంటుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్‌లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించండి, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్‌ను నిరోధించడానికి బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.
- అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత.