సెమికోరెక్స్ RTP/RTA SiC కోటింగ్ క్యారియర్ నిక్షేపణ వాతావరణంలోని క్లిష్ట పరిస్థితులను తట్టుకునేలా రూపొందించబడింది. అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతతో, ఈ ఉత్పత్తి ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలకు సరైన పనితీరును అందించడానికి రూపొందించబడింది. SiC కోటెడ్ క్యారియర్ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంది, RTA, RTP లేదా కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ కోసం విశ్వసనీయ పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది.
MOCVD ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం మా RTP/RTA SiC కోటింగ్ క్యారియర్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ మరియు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెసింగ్ కోసం సరైన పరిష్కారం. మృదువైన ఉపరితలం మరియు రసాయన శుభ్రతకు వ్యతిరేకంగా అధిక మన్నికతో, ఈ ఉత్పత్తి కఠినమైన నిక్షేపణ వాతావరణంలో నమ్మకమైన పనితీరును అందిస్తుంది.
మా RTP/RTA SiC కోటింగ్ క్యారియర్ యొక్క మెటీరియల్ పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ను నివారించడానికి ఇంజినీరింగ్ చేయబడింది, అయితే ఉన్నతమైన వేడి నిరోధకత మరియు ఉష్ణ ఏకరూపత RTA, RTP లేదా కఠినమైన రసాయన శుభ్రత కోసం స్థిరమైన పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది.
మా RTP/RTA SiC కోటింగ్ క్యారియర్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి
RTP/RTA SiC కోటింగ్ క్యారియర్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
RTP/RTA SiC కోటింగ్ క్యారియర్ యొక్క లక్షణాలు
అధిక స్వచ్ఛత SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్
సుపీరియర్ హీట్ రెసిస్టెన్స్ & థర్మల్ ఏకరూపత
ఒక మృదువైన ఉపరితలం కోసం ఫైన్ SiC క్రిస్టల్ పూత
రసాయన శుభ్రపరచడానికి వ్యతిరేకంగా అధిక మన్నిక
పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ జరగకుండా మెటీరియల్ రూపొందించబడింది.