ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం SiC కోటెడ్ RTP క్యారియర్ ప్లేట్

ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం సెమికోరెక్స్ SiC కోటెడ్ RTP క్యారియర్ ప్లేట్ సెమీకండక్టర్ వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ అప్లికేషన్‌లకు సరైన పరిష్కారం. గ్రాఫైట్, సెరామిక్స్ మొదలైన వాటి ఉపరితలంపై MOCVD ద్వారా ప్రాసెస్ చేయబడిన అధిక-నాణ్యత కార్బన్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు మరియు క్వార్ట్జ్ క్రూసిబుల్‌లతో, ఈ ఉత్పత్తి పొర నిర్వహణ మరియు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెసింగ్‌కు అనువైనది. SiC కోటెడ్ క్యారియర్ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను నిర్ధారిస్తుంది, ఇది RTA, RTP లేదా కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్‌కు నమ్మదగిన ఎంపికగా చేస్తుంది.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం మా SiC కోటెడ్ RTP క్యారియర్ ప్లేట్ నిక్షేపణ వాతావరణంలోని క్లిష్ట పరిస్థితులను తట్టుకునేలా రూపొందించబడింది. అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతతో, ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్లు ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలకు ఖచ్చితమైన నిక్షేపణ వాతావరణానికి లోబడి ఉంటాయి. క్యారియర్‌పై ఉన్న చక్కటి SiC క్రిస్టల్ పూత మృదువైన ఉపరితలం మరియు రసాయన శుభ్రతకు వ్యతిరేకంగా అధిక మన్నికను నిర్ధారిస్తుంది, అయితే పదార్థం పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్‌ను నిరోధించడానికి ఇంజనీరింగ్ చేయబడింది.
ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం మా SiC కోటెడ్ RTP క్యారియర్ ప్లేట్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.

ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం SiC కోటెడ్ RTP క్యారియర్ ప్లేట్ యొక్క పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
SiC-CVD లక్షణాలు
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β దశ
సాంద్రత	g/cm ³	3.21
కాఠిన్యం	వికర్స్ కాఠిన్యం	2500
ధాన్యం పరిమాణం	μm	2~10
రసాయన స్వచ్ఛత	%	99.99995
ఉష్ణ సామర్థ్యం	J kg-1 K-1	640
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	℃	2700
Felexural బలం	MPa (RT 4-పాయింట్)	415
యంగ్స్ మాడ్యులస్	Gpa (4pt బెండ్, 1300℃)	430
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ఉష్ణ వాహకత	(W/mK)	300

ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం SiC కోటెడ్ RTP క్యారియర్ ప్లేట్ యొక్క లక్షణాలు

అధిక స్వచ్ఛత SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్
సుపీరియర్ హీట్ రెసిస్టెన్స్ & థర్మల్ ఏకరూపత
ఒక మృదువైన ఉపరితలం కోసం ఫైన్ SiC క్రిస్టల్ పూత
రసాయన శుభ్రపరచడానికి వ్యతిరేకంగా అధిక మన్నిక
పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ జరగకుండా మెటీరియల్ రూపొందించబడింది.

హాట్ ట్యాగ్‌లు: ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం SiC కోటెడ్ RTP క్యారియర్ ప్లేట్, చైనా, తయారీదారులు, సరఫరాదారులు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, బల్క్, అధునాతన, మన్నికైనది

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం