MOCVD కోసం సెమికోరెక్స్ SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బేస్ ససెప్టర్లు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఉపయోగించే ఉన్నతమైన నాణ్యమైన క్యారియర్లు. మా ఉత్పత్తి అద్భుతమైన పనితీరు మరియు దీర్ఘకాలిక మన్నికను అందించే అధిక-నాణ్యత సిలికాన్ కార్బైడ్తో రూపొందించబడింది. ఈ క్యారియర్ పొర చిప్పై ఎపిటాక్సియల్ పొరను పెంచే ప్రక్రియలో ఉపయోగించడానికి అనువైనది.
MOCVD కోసం మా SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బేస్ ససెప్టర్లు అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి, ఇది తీవ్రమైన వాతావరణంలో కూడా గొప్ప స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.
MOCVD కోసం ఈ SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బేస్ ససెప్టర్ల లక్షణాలు అత్యద్భుతంగా ఉన్నాయి. ఇది గ్రాఫైట్పై అధిక స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో తయారు చేయబడింది, ఇది 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ఆక్సీకరణకు అధిక నిరోధకతను కలిగిస్తుంది. దాని తయారీలో ఉపయోగించే CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ప్రక్రియ అధిక స్వచ్ఛత మరియు అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకతను నిర్ధారిస్తుంది. క్యారియర్ యొక్క ఉపరితలం దట్టంగా ఉంటుంది, దాని తుప్పు నిరోధకతను పెంచే చక్కటి కణాలతో ఇది యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలకు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది.
MOCVD కోసం మా SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బేస్ ససెప్టర్లు ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో ప్యాటర్న్కు హామీ ఇస్తూ, ఒక సరి థర్మల్ ప్రొఫైల్ను నిర్ధారిస్తాయి. ఇది పొరలోకి వ్యాపించకుండా ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను నిరోధిస్తుంది, ఇది క్లీన్రూమ్ పరిసరాలలో ఉపయోగించడానికి అనువైనదిగా చేస్తుంది. సెమికోరెక్స్ అనేది చైనాలో SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క పెద్ద-స్థాయి తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు, మరియు మా ఉత్పత్తులు మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉన్నాయి. సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
MOCVD కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బేస్ ససెప్టర్ల పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
MOCVD కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క లక్షణాలు
- పై తొక్కను నివారించండి మరియు అన్ని ఉపరితలంపై పూత ఉండేలా చూసుకోండి
అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత: 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది
అధిక స్వచ్ఛత: అధిక ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది.
తుప్పు నిరోధకత: అధిక కాఠిన్యం, దట్టమైన ఉపరితలం మరియు చక్కటి కణాలు.
తుప్పు నిరోధకత: యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలు.
- ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించండి
- థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వానికి హామీ ఇవ్వండి
- ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలు వ్యాప్తి చెందకుండా నిరోధించండి