SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ MOCVD ససెప్టర్లు

SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ MOCVD ససెప్టర్లులోహ-సేంద్రీయ రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (MOCVD) పరికరాలలో ఉపయోగించే ముఖ్యమైన భాగాలు, ఇవి పొర ఉపరితలాలను పట్టుకోవడం మరియు వేడి చేయడం కోసం బాధ్యత వహిస్తాయి. వాటి ఉన్నతమైన థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్, రసాయన నిరోధకత మరియు డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీతో, SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ MOCVD ససెప్టర్‌లు అధిక-నాణ్యత పొర సబ్‌స్ట్రేట్ ఎపిటాక్సీకి సరైన ఎంపికగా పరిగణించబడతాయి.

పొర కల్పనలో, దిMOCVDఆధునిక సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీకి సిద్ధమవుతున్న పొర ఉపరితలాల ఉపరితలంపై ఎపిటాక్సియల్ పొరలను నిర్మించడానికి సాంకేతికత ఉపయోగించబడుతుంది. ఎపిటాక్సియల్ పొరల పెరుగుదల బహుళ కారకాలచే ప్రభావితమవుతుంది కాబట్టి, పొర సబ్‌స్ట్రేట్‌లను నిక్షేపణ కోసం MOCVD పరికరాలలో నేరుగా ఉంచడం సాధ్యం కాదు. SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ MOCVD ససెప్టర్‌లు పొర ఉపరితలాలను పట్టుకోవడం మరియు వేడి చేయడం అవసరం, ఇది ఎపిటాక్సియల్ పొరల పెరుగుదలకు స్థిరమైన ఉష్ణ పరిస్థితులను సృష్టిస్తుంది. అందువల్ల, SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ MOCVD ససెప్టర్‌ల పనితీరు నేరుగా సన్నని ఫిల్మ్ మెటీరియల్స్ యొక్క ఏకరూపత మరియు స్వచ్ఛతను నిర్ణయిస్తుంది, ఇది అధునాతన సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీని ప్రభావితం చేస్తుంది.

సెమికోరెక్స్ ఎంచుకుంటుందిఅధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్దాని SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ MOCVD ససెప్టర్లకు మ్యాట్రిక్స్ మెటీరియల్‌గా ఆపై గ్రాఫైట్ మ్యాట్రిక్స్‌ను ఏకరీతిగా పూస్తుందిసిలికాన్ కార్బైడ్CVD టెక్నాలజీ ద్వారా పూత. సాంప్రదాయిక సాంకేతికతతో పోలిస్తే, CVD సాంకేతికత సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత మరియు గ్రాఫైట్ మాతృక మధ్య బంధన బలాన్ని గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది, దీని ఫలితంగా బలమైన సంశ్లేషణతో దట్టమైన పూత ఏర్పడుతుంది. డిమాండ్ ఉన్న అధిక-ఉష్ణోగ్రత తినివేయు వాతావరణంలో కూడా, సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత దాని నిర్మాణ సమగ్రతను మరియు రసాయన స్థిరత్వాన్ని చాలా కాలం పాటు నిర్వహిస్తుంది, తినివేయు వాయువులు మరియు గ్రాఫైట్ మాతృక మధ్య ప్రత్యక్ష సంబంధాన్ని సమర్థవంతంగా నివారిస్తుంది. ఇది గ్రాఫైట్ మాతృక యొక్క తుప్పును ప్రభావవంతంగా నివారిస్తుంది మరియు గ్రాఫైట్ కణాలను వేరుచేయకుండా మరియు వేఫర్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లు మరియు ఎపిటాక్సియల్ పొరలను కలుషితం చేయకుండా నిరోధిస్తుంది, సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీ యొక్క శుభ్రత మరియు దిగుబడిని నిర్ధారిస్తుంది.

సెమికోరెక్స్ యొక్క SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ MOCVD ససెప్టర్ల యొక్క ప్రయోజనాలు

1. అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత

2. అధిక ఉష్ణ వాహకత

3. సుపీరియర్ థర్మల్ స్టెబిలిటీ

4. ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం

5. అసాధారణమైన థర్మల్ షాక్ నిరోధకత

6. అధిక ఉపరితల సున్నితత్వం

7. శాశ్వత సేవా జీవితం