MOCVD కోసం SiC వేఫర్ ససెప్టర్లు

థర్మల్ స్టెబిలిటీ, కెమికల్ రెసిస్టెన్స్ మరియు మెకానికల్ పటిష్టత కలయిక MOCVD కోసం సెమికోరెక్స్ SiC వేఫర్ ససెప్టర్‌లు కఠినమైన ప్రాసెసింగ్ పరిస్థితులలో కూడా సుదీర్ఘ కార్యాచరణ జీవితాన్ని కలిగి ఉండేలా చేస్తుంది:

1. MOCVD కోసం ఈ SiC వేఫర్ ససెప్టర్లు చాలా ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకునేలా రూపొందించబడ్డాయి, తరచుగా 1500°C కంటే ఎక్కువ, క్షీణత లేకుండా. అధిక ఉష్ణ వాతావరణాలకు ఎక్కువ కాలం బహిర్గతం కావాల్సిన ప్రక్రియలకు ఈ స్థితిస్థాపకత కీలకం. ఉన్నతమైన థర్మల్ లక్షణాలు ససెప్టర్ లోపల థర్మల్ ప్రవణతలు మరియు ఒత్తిడిని తగ్గిస్తాయి, తద్వారా విపరీతమైన ప్రాసెసింగ్ ఉష్ణోగ్రతల కింద వార్పింగ్ లేదా వైకల్యం ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది.

2. MOCVD కోసం SiC వేఫర్ ససెప్టర్స్ యొక్క SiC పూత, హాలోజన్ ఆధారిత వాయువుల వంటి CVD ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే తినివేయు రసాయనాలకు అసాధారణమైన ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది. ఈ జడత్వం క్యారియర్లు ప్రక్రియ వాయువులతో ప్రతిస్పందించకుండా నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా డిపాజిటెడ్ ఫిల్మ్‌ల సమగ్రత మరియు స్వచ్ఛతను కాపాడుతుంది.

3. MOCVD కోసం ఈ SiC వేఫర్ ససెప్టర్ల యొక్క బలమైన నిర్మాణం, పొరను కలుషితం చేసే కణాలను ఉత్పత్తి చేయకుండా హ్యాండ్లింగ్ మరియు ప్రాసెసింగ్ యొక్క యాంత్రిక ఒత్తిడిని తట్టుకోగలదని నిర్ధారిస్తుంది. ససెప్టర్ల ఉపరితలం యొక్క ఏకరూపత పునరుత్పాదక ప్రాసెసింగ్ పరిస్థితులను ప్రోత్సహిస్తుంది, ఇవి స్థిరమైన పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతతో సెమీకండక్టర్ పరికరాలను ఉత్పత్తి చేయడానికి అవసరమైనవి.

ఈ విస్తరించిన వివరణలు సెమీకండక్టర్ CVD ప్రక్రియలలో MOCVD కోసం SiC వేఫర్ ససెప్టర్ల యొక్క వృత్తిపరమైన మరియు సాంకేతిక ప్రయోజనాలను హైలైట్ చేస్తాయి, తయారీ ప్రక్రియలో స్వచ్ఛత, పనితీరు మరియు సమర్థత యొక్క అధిక ప్రమాణాలను నిర్వహించడంలో వాటి ప్రత్యేక లక్షణాలు మరియు ప్రయోజనాలను నొక్కిచెప్పాయి.