SiC పూత అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా ససెప్టర్పై పలుచని పొర. సిలికాన్ కార్బైడ్ మెటీరియల్ సిలికాన్ కంటే అనేక ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది, వీటిలో 10x బ్రేక్డౌన్ ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్ స్ట్రెంగ్త్, 3x బ్యాండ్ గ్యాప్, ఇది మెటీరియల్ను అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ వాహకతతో అందిస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ అనుకూలీకరించిన సేవను అందిస్తుంది, ఎక్కువ కాలం ఉండే కాంపోనెంట్లతో ఆవిష్కరణలు చేయడంలో మీకు సహాయం చేస్తుంది, చక్రాల సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.
SiC పూత అనేక ప్రత్యేక ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది
అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధం: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ గణనీయమైన ఉష్ణ క్షీణతకు గురికాకుండా 1600°C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు.
రసాయన ప్రతిఘటన: సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత ఆమ్లాలు, క్షారాలు మరియు సేంద్రీయ ద్రావకాలతో సహా అనేక రకాల రసాయనాలకు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది.
వేర్ రెసిస్టెన్స్: SiC పూత అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకతతో మెటీరియల్ను అందిస్తుంది, ఇది అధిక దుస్తులు మరియు కన్నీటిని కలిగి ఉన్న అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
థర్మల్ కండక్టివిటీ: CVD SiC పూత అధిక ఉష్ణ వాహకతతో పదార్థాన్ని అందిస్తుంది, ఇది సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీ అవసరమయ్యే అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
అధిక బలం మరియు దృఢత్వం: సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ మెటీరియల్ని అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో అందిస్తుంది, ఇది అధిక యాంత్రిక బలం అవసరమయ్యే అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
SiC పూత వివిధ అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించబడుతుంది
LED తయారీ: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ దాని అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు రసాయన నిరోధకత కారణంగా నీలం మరియు ఆకుపచ్చ LED, UV LED మరియు లోతైన-UV LED వంటి వివిధ LED రకాలను ప్రాసెస్ చేసిన తయారీలో ఉపయోగించబడుతుంది.
మొబైల్ కమ్యూనికేషన్: GaN-on-SiC ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియను పూర్తి చేయడానికి CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ HEMTలో కీలకమైన భాగం.
సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ను సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్తో సహా వివిధ అప్లికేషన్ల కోసం ఉపయోగిస్తారు.
SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ భాగాలు
సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ (SiC) గ్రాఫైట్తో తయారు చేయబడింది, ఈ పూత CVD పద్ధతి ద్వారా అధిక సాంద్రత కలిగిన గ్రాఫైట్ యొక్క నిర్దిష్ట గ్రేడ్లకు వర్తించబడుతుంది, కనుక ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత కొలిమిలో 3000 °C కంటే ఎక్కువ జడ వాతావరణంలో, 2200 °C శూన్యంలో పనిచేయగలదు. .
పదార్థం యొక్క ప్రత్యేక లక్షణాలు మరియు తక్కువ ద్రవ్యరాశి వేగవంతమైన వేడి రేట్లు, ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ మరియు నియంత్రణలో అత్యుత్తమ ఖచ్చితత్వాన్ని అనుమతిస్తాయి.
సెమికోరెక్స్ SiC కోటింగ్ యొక్క మెటీరియల్ డేటా
విలక్షణ లక్షణాలు |
యూనిట్లు |
విలువలు |
నిర్మాణం |
|
FCC β దశ |
ఓరియంటేషన్ |
భిన్నం (%) |
111 ప్రాధాన్యత |
బల్క్ డెన్సిటీ |
g/cm³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
ఉష్ణ విస్తరణ 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
తీర్మానం CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ అనేది ససెప్టర్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క లక్షణాలను మిళితం చేసే ఒక మిశ్రమ పదార్థం. ఈ పదార్ధం అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో సహా ప్రత్యేక లక్షణాలను కలిగి ఉంది. ఈ లక్షణాలు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్, కెమికల్ ప్రాసెసింగ్, హీట్ ట్రీట్మెంట్, సౌర ఘటాల తయారీ మరియు LED తయారీతో సహా వివిధ అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాలకు ఆకర్షణీయమైన పదార్థంగా చేస్తాయి.
మీరు హై-ప్యూరిటీ SiCతో పూత పూయబడిన అధిక-నాణ్యత గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ కోసం చూస్తున్నట్లయితే, సెమీకండక్టర్లో SiC కోటింగ్తో కూడిన సెమికోరెక్స్ బారెల్ ససెప్టర్ సరైన ఎంపిక. దాని అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలు సెమీకండక్టర్ తయారీ అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించడానికి దీనిని ఆదర్శంగా చేస్తాయి.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిఅధిక సాంద్రత మరియు ఉష్ణ వాహకతతో, ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం సెమికోరెక్స్ SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణంలో ఉపయోగించడానికి అనువైన ఎంపిక. అధిక-స్వచ్ఛత SiCతో పూత పూయబడిన ఈ గ్రాఫైట్ ఉత్పత్తి అద్భుతమైన రక్షణ మరియు ఉష్ణ పంపిణీని అందిస్తుంది, సెమీకండక్టర్ తయారీ అనువర్తనాల్లో విశ్వసనీయమైన మరియు స్థిరమైన పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిWafer Epitaxial కోసం Semicorex SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ అనేది సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ అప్లికేషన్లకు సరైన ఎంపిక, దాని అసాధారణమైన ఫ్లాట్ ఉపరితలం మరియు అధిక-నాణ్యత గల SiC పూతకు ధన్యవాదాలు. దాని అధిక ద్రవీభవన స్థానం, ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణంలో ఉపయోగించడానికి ఇది ఆదర్శవంతమైన ఎంపిక.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ SiC కోటెడ్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ బారెల్ అనేది అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన SiCతో పూత పూయబడిన అత్యుత్తమ నాణ్యత గల గ్రాఫైట్ ఉత్పత్తి. దాని అద్భుతమైన సాంద్రత మరియు ఉష్ణ వాహకత LPE ప్రక్రియలలో ఉపయోగించడానికి ఇది ఒక ఆదర్శవంతమైన ఎంపికగా చేస్తుంది, తినివేయు మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో అసాధారణమైన ఉష్ణ పంపిణీ మరియు రక్షణను అందిస్తుంది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ కార్బైడ్-కోటెడ్ రియాక్టర్ బారెల్ ససెప్టర్ అనేది అధిక-స్వచ్ఛత SiCతో పూత పూయబడిన ప్రీమియం నాణ్యత గ్రాఫైట్ ఉత్పత్తి, ఇది ప్రత్యేకంగా LPE ప్రక్రియల కోసం రూపొందించబడింది. అద్భుతమైన వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతతో, ఈ ఉత్పత్తి సెమీకండక్టర్ తయారీ అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించడానికి సరైనది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్ కోసం సెమికోరెక్స్ యొక్క SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలకు అత్యంత విశ్వసనీయ పరిష్కారం, ఇది ఉన్నతమైన ఉష్ణ పంపిణీ మరియు ఉష్ణ వాహకత లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది. ఇది తుప్పు, ఆక్సీకరణ మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతలకు కూడా అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి