SiC పూత అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా ససెప్టర్పై పలుచని పొర. సిలికాన్ కార్బైడ్ మెటీరియల్ సిలికాన్ కంటే అనేక ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది, వీటిలో 10x బ్రేక్డౌన్ ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్ స్ట్రెంగ్త్, 3x బ్యాండ్ గ్యాప్, ఇది మెటీరియల్ను అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ వాహకతతో అందిస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ అనుకూలీకరించిన సేవను అందిస్తుంది, ఎక్కువ కాలం ఉండే కాంపోనెంట్లతో ఆవిష్కరణలు చేయడంలో మీకు సహాయం చేస్తుంది, చక్రాల సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.
SiC పూత అనేక ప్రత్యేక ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది
అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధం: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ గణనీయమైన ఉష్ణ క్షీణతకు గురికాకుండా 1600°C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు.
రసాయన ప్రతిఘటన: సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత ఆమ్లాలు, క్షారాలు మరియు సేంద్రీయ ద్రావకాలతో సహా అనేక రకాల రసాయనాలకు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది.
వేర్ రెసిస్టెన్స్: SiC పూత అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకతతో మెటీరియల్ను అందిస్తుంది, ఇది అధిక దుస్తులు మరియు కన్నీటిని కలిగి ఉన్న అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
థర్మల్ కండక్టివిటీ: CVD SiC పూత అధిక ఉష్ణ వాహకతతో పదార్థాన్ని అందిస్తుంది, ఇది సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీ అవసరమయ్యే అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
అధిక బలం మరియు దృఢత్వం: సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ మెటీరియల్ని అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో అందిస్తుంది, ఇది అధిక యాంత్రిక బలం అవసరమయ్యే అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
SiC పూత వివిధ అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించబడుతుంది
LED తయారీ: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ దాని అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు రసాయన నిరోధకత కారణంగా నీలం మరియు ఆకుపచ్చ LED, UV LED మరియు లోతైన-UV LED వంటి వివిధ LED రకాలను ప్రాసెస్ చేసిన తయారీలో ఉపయోగించబడుతుంది.
మొబైల్ కమ్యూనికేషన్: GaN-on-SiC ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియను పూర్తి చేయడానికి CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ HEMTలో కీలకమైన భాగం.
సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ను సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్తో సహా వివిధ అప్లికేషన్ల కోసం ఉపయోగిస్తారు.
SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ భాగాలు
సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ (SiC) గ్రాఫైట్తో తయారు చేయబడింది, ఈ పూత CVD పద్ధతి ద్వారా అధిక సాంద్రత కలిగిన గ్రాఫైట్ యొక్క నిర్దిష్ట గ్రేడ్లకు వర్తించబడుతుంది, కనుక ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత కొలిమిలో 3000 °C కంటే ఎక్కువ జడ వాతావరణంలో, 2200 °C శూన్యంలో పనిచేయగలదు. .
పదార్థం యొక్క ప్రత్యేక లక్షణాలు మరియు తక్కువ ద్రవ్యరాశి వేగవంతమైన వేడి రేట్లు, ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ మరియు నియంత్రణలో అత్యుత్తమ ఖచ్చితత్వాన్ని అనుమతిస్తాయి.
సెమికోరెక్స్ SiC కోటింగ్ యొక్క మెటీరియల్ డేటా
విలక్షణ లక్షణాలు |
యూనిట్లు |
విలువలు |
నిర్మాణం |
|
FCC β దశ |
ఓరియంటేషన్ |
భిన్నం (%) |
111 ప్రాధాన్యత |
బల్క్ డెన్సిటీ |
g/cm³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
ఉష్ణ విస్తరణ 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
తీర్మానం CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ అనేది ససెప్టర్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క లక్షణాలను మిళితం చేసే ఒక మిశ్రమ పదార్థం. ఈ పదార్ధం అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో సహా ప్రత్యేక లక్షణాలను కలిగి ఉంది. ఈ లక్షణాలు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్, కెమికల్ ప్రాసెసింగ్, హీట్ ట్రీట్మెంట్, సౌర ఘటాల తయారీ మరియు LED తయారీతో సహా వివిధ అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాలకు ఆకర్షణీయమైన పదార్థంగా చేస్తాయి.
సెమికోరెక్స్ లిక్విడ్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీ (LPE) రియాక్టర్ సిస్టమ్ ఒక వినూత్నమైన ఉత్పత్తి, ఇది అద్భుతమైన థర్మల్ పనితీరు, థర్మల్ ప్రొఫైల్ మరియు ఉన్నతమైన పూత సంశ్లేషణను అందిస్తుంది. దీని అధిక స్వచ్ఛత, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఉపయోగించడానికి ఇది ఒక ఆదర్శవంతమైన ఎంపిక. దీని అనుకూలీకరించదగిన ఎంపికలు మరియు ఖర్చు-ప్రభావం దీనిని మార్కెట్లో అత్యంత పోటీతత్వ ఉత్పత్తిగా మార్చింది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిబారెల్ రియాక్టర్లోని సెమికోరెక్స్ సివిడి ఎపిటాక్సియల్ డిపోజిషన్ అనేది పొర చిప్లపై ఎపిక్సియల్ లేయర్లను పెంచడానికి అత్యంత మన్నికైన మరియు నమ్మదగిన ఉత్పత్తి. దీని అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు అధిక స్వచ్ఛత సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఉపయోగించడానికి అనుకూలం. దీని థర్మల్ ప్రొఫైల్, లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో ప్యాటర్న్ మరియు కాలుష్యాన్ని నివారించడం వలన అధిక-నాణ్యత ఎపిక్సియల్ లేయర్ పెరుగుదలకు ఇది ఒక ఆదర్శవంతమైన ఎంపిక.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమీకండక్టర్ తయారీ అప్లికేషన్లలో ఉపయోగించడానికి మీకు అధిక-పనితీరు గల గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అవసరమైతే, బారెల్ రియాక్టర్లోని సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ డిపోజిషన్ అనువైన ఎంపిక. దాని అధిక-స్వచ్ఛత SiC పూత మరియు అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత ఉన్నతమైన రక్షణ మరియు ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను అందిస్తాయి, ఇది అత్యంత సవాలుగా ఉన్న వాతావరణంలో కూడా విశ్వసనీయమైన మరియు స్థిరమైన పనితీరు కోసం గో-టు ఎంపికగా చేస్తుంది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిమీకు అసాధారణమైన థర్మల్ కండక్టివిటీ మరియు హీట్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ ప్రాపర్టీస్తో గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అవసరమైతే, సెమికోరెక్స్ ఇండక్టివ్లీ హీటెడ్ బారెల్ ఎపి సిస్టమ్ను చూడకండి. దాని అధిక-స్వచ్ఛత SiC పూత అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణాలలో ఉన్నతమైన రక్షణను అందిస్తుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించడానికి అనువైన ఎంపిక.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిదాని అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలతో, సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ కోసం సెమికోరెక్స్ బారెల్ స్ట్రక్చర్ అనేది LPE ప్రక్రియలు మరియు ఇతర సెమీకండక్టర్ తయారీ అప్లికేషన్లలో ఉపయోగించడానికి సరైన ఎంపిక. దీని అధిక-స్వచ్ఛత SiC పూత అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పరిసరాలలో ఉన్నతమైన రక్షణను అందిస్తుంది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిమీరు సెమీకండక్టర్ తయారీ అప్లికేషన్లలో ఉపయోగించడానికి అధిక-పనితీరు గల గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ కోసం చూస్తున్నట్లయితే, Semicorex SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్ అనువైన ఎంపిక. దాని అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలు అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణాలలో నమ్మకమైన మరియు స్థిరమైన పనితీరు కోసం దీనిని ఎంపిక చేస్తాయి.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి