SiC పూత అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా ససెప్టర్పై పలుచని పొర. సిలికాన్ కార్బైడ్ మెటీరియల్ సిలికాన్ కంటే అనేక ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది, వీటిలో 10x బ్రేక్డౌన్ ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్ స్ట్రెంగ్త్, 3x బ్యాండ్ గ్యాప్, ఇది మెటీరియల్ను అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ వాహకతతో అందిస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ అనుకూలీకరించిన సేవను అందిస్తుంది, ఎక్కువ కాలం ఉండే కాంపోనెంట్లతో ఆవిష్కరణలు చేయడంలో మీకు సహాయం చేస్తుంది, చక్రాల సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.
SiC పూత అనేక ప్రత్యేక ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది
అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధం: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ గణనీయమైన ఉష్ణ క్షీణతకు గురికాకుండా 1600°C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు.
రసాయన ప్రతిఘటన: సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత ఆమ్లాలు, క్షారాలు మరియు సేంద్రీయ ద్రావకాలతో సహా అనేక రకాల రసాయనాలకు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది.
వేర్ రెసిస్టెన్స్: SiC పూత అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకతతో మెటీరియల్ను అందిస్తుంది, ఇది అధిక దుస్తులు మరియు కన్నీటిని కలిగి ఉన్న అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
థర్మల్ కండక్టివిటీ: CVD SiC పూత అధిక ఉష్ణ వాహకతతో పదార్థాన్ని అందిస్తుంది, ఇది సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీ అవసరమయ్యే అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
అధిక బలం మరియు దృఢత్వం: సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ మెటీరియల్ని అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో అందిస్తుంది, ఇది అధిక యాంత్రిక బలం అవసరమయ్యే అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
SiC పూత వివిధ అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించబడుతుంది
LED తయారీ: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ దాని అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు రసాయన నిరోధకత కారణంగా నీలం మరియు ఆకుపచ్చ LED, UV LED మరియు లోతైన-UV LED వంటి వివిధ LED రకాలను ప్రాసెస్ చేసిన తయారీలో ఉపయోగించబడుతుంది.
మొబైల్ కమ్యూనికేషన్: GaN-on-SiC ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియను పూర్తి చేయడానికి CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ HEMTలో కీలకమైన భాగం.
సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ను సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్తో సహా వివిధ అప్లికేషన్ల కోసం ఉపయోగిస్తారు.
SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ భాగాలు
సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ (SiC) గ్రాఫైట్తో తయారు చేయబడింది, ఈ పూత CVD పద్ధతి ద్వారా అధిక సాంద్రత కలిగిన గ్రాఫైట్ యొక్క నిర్దిష్ట గ్రేడ్లకు వర్తించబడుతుంది, కనుక ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత కొలిమిలో 3000 °C కంటే ఎక్కువ జడ వాతావరణంలో, 2200 °C శూన్యంలో పనిచేయగలదు. .
పదార్థం యొక్క ప్రత్యేక లక్షణాలు మరియు తక్కువ ద్రవ్యరాశి వేగవంతమైన వేడి రేట్లు, ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ మరియు నియంత్రణలో అత్యుత్తమ ఖచ్చితత్వాన్ని అనుమతిస్తాయి.
సెమికోరెక్స్ SiC కోటింగ్ యొక్క మెటీరియల్ డేటా
విలక్షణ లక్షణాలు |
యూనిట్లు |
విలువలు |
నిర్మాణం |
|
FCC β దశ |
ఓరియంటేషన్ |
భిన్నం (%) |
111 ప్రాధాన్యత |
బల్క్ డెన్సిటీ |
g/cm³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
ఉష్ణ విస్తరణ 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
తీర్మానం CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ అనేది ససెప్టర్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క లక్షణాలను మిళితం చేసే ఒక మిశ్రమ పదార్థం. ఈ పదార్ధం అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో సహా ప్రత్యేక లక్షణాలను కలిగి ఉంది. ఈ లక్షణాలు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్, కెమికల్ ప్రాసెసింగ్, హీట్ ట్రీట్మెంట్, సౌర ఘటాల తయారీ మరియు LED తయారీతో సహా వివిధ అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాలకు ఆకర్షణీయమైన పదార్థంగా చేస్తాయి.
సెమికోరెక్స్ యొక్క PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ ట్రే అనేది వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం ప్రత్యేకంగా డిమాండ్ ఉన్న ఎపిటాక్సీ పరికరాల అప్లికేషన్ల కోసం రూపొందించబడింది. మా అల్ట్రా-ప్యూర్ గ్రాఫైట్ క్యారియర్ MOCVD, ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్లు, పాన్కేక్ లేదా శాటిలైట్ ప్లాట్ఫారమ్లు మరియు ఎచింగ్ వంటి వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్ వంటి సన్నని-ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ దశలకు అనువైనది. వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ ట్రే అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకత, అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలు మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది. మా ఉత్పత్తులు తక్కువ ఖర్చుతో కూడుకున్నవి మరియు మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంటాయి. మేము అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను అందిస్తాము మరియు చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్లో, మేము ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెస్లకు అవసరమైన కఠినమైన వాతావరణాల కోసం ప్రత్యేకంగా LED కోసం PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ ట్రేని రూపొందించాము. మా అల్ట్రా-ప్యూర్ గ్రాఫైట్ క్యారియర్ MOCVD, ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్లు, పాన్కేక్ లేదా శాటిలైట్ ప్లాట్ఫారమ్లు మరియు ఎచింగ్ వంటి వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్ వంటి సన్నని-ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ దశలకు అనువైనది. SiC కోటెడ్ క్యారియర్ అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకత, అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలు మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది. LED కోసం మా PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ ట్రే ఖర్చుతో కూడుకున్నది మరియు మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని అందిస్తుంది. మేము అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను అందిస్తాము మరియు చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమీకండక్టర్ కోసం సెమికోరెక్స్ పిఎస్ఎస్ ఎచింగ్ క్యారియర్ ప్లేట్ ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల మరియు పొర నిర్వహణ ప్రక్రియలకు అవసరమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు కఠినమైన రసాయన శుభ్రపరిచే వాతావరణాల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. సెమీకండక్టర్ కోసం మా అల్ట్రా-ప్యూర్ PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ ప్లేట్ MOCVD మరియు ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్లు, పాన్కేక్ లేదా శాటిలైట్ ప్లాట్ఫారమ్ల వంటి థిన్-ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ ఫేజ్లలో వేఫర్లకు మద్దతు ఇచ్చేలా రూపొందించబడింది. మా SiC కోటెడ్ క్యారియర్ అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకత, అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలు మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంది. మేము మా కస్టమర్లకు తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన పరిష్కారాలను అందిస్తాము మరియు మా ఉత్పత్తులు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తాయి. సెమికోరెక్స్ చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా ఉండటానికి ఎదురుచూస్తోంది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిఎపిక్సియల్ గ్రోత్ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్లో ఉపయోగించే పొర క్యారియర్లు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ను తట్టుకోవాలి. సెమికోరెక్స్ SiC కోటెడ్ PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ ఈ డిమాండింగ్ ఎపిటాక్సీ పరికరాల అప్లికేషన్ల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. మా ఉత్పత్తులు మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉన్నాయి మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తాయి. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిLPE ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం సెమికోరెక్స్ SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ అనేది సుదీర్ఘ కాలంలో స్థిరమైన మరియు నమ్మదగిన పనితీరును అందించడానికి రూపొందించబడిన అధిక-పనితీరు గల ఉత్పత్తి. దాని థర్మల్ ప్రొఫైల్, లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో ప్యాటర్న్ మరియు కాలుష్యాన్ని నివారించడం వల్ల పొర చిప్లపై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ల పెరుగుదలకు ఇది ఆదర్శవంతమైన ఎంపిక. దాని అనుకూలీకరణ మరియు ఖర్చు-ప్రభావం దీనిని మార్కెట్లో అత్యంత పోటీ ఉత్పత్తిగా మార్చింది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ బారెల్ ససెప్టర్ ఎపి సిస్టమ్ అనేది అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తి, ఇది అత్యుత్తమ పూత సంశ్లేషణ, అధిక స్వచ్ఛత మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకతను అందిస్తుంది. దీని థర్మల్ ప్రొఫైల్, లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో ప్యాటర్న్ మరియు కాలుష్యాన్ని నివారించడం వల్ల పొర చిప్లపై ఎపిక్సియల్ లేయర్ల పెరుగుదలకు ఇది ఆదర్శవంతమైన ఎంపిక. దాని ఖర్చు-ప్రభావం మరియు అనుకూలీకరణ దీన్ని మార్కెట్లో అత్యంత పోటీతత్వ ఉత్పత్తిగా మార్చింది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి