ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్‌లో విడి భాగాలు

ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్‌లో సెమికోరెక్స్ స్పేర్ పార్ట్‌లు చాలా కీలకమైనవి, ప్రత్యేకించి క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్ సెటప్‌లను కలిగి ఉండే ప్రక్రియలకు. ట్రే బేస్ భ్రమణాన్ని నడపడానికి మరియు ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల ప్రక్రియ అంతటా ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను నిర్ధారించడానికి గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని సులభతరం చేయడంలో ఈ భాగాలు అవసరం. ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్‌లోని సెమికోరెక్స్ స్పేర్ పార్ట్‌లు, వ్యావహారికంలో హాఫ్ పార్ట్స్ అని పిలుస్తారు, ఇవి అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ఛాంబర్‌లలో అంతర్లీనంగా ఉండే తినివేయు వాతావరణాలను తట్టుకునేలా సూక్ష్మంగా ఇంజినీరింగ్ చేయబడ్డాయి. సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) నుండి నిర్మించబడినవి, అవి అసాధారణమైన థర్మల్ మరియు కెమికల్ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తాయి, వీటిని డిమాండ్ చేసే అప్లికేషన్‌లకు అనువైన ఎంపికగా చేస్తుంది. SiC యొక్క ఉపయోగం ఈ భాగాలు చాలా సవాలుగా ఉన్న పరిస్థితులను కూడా తట్టుకోగల సామర్థ్యాన్ని కలిగి ఉన్నాయని నిర్ధారిస్తుంది.

ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్‌లోని విడి భాగాలు చంద్రవంక ఆకారాన్ని పోలి ఉంటాయి, క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్ అసెంబ్లీలో సున్నితంగా సరిపోయేలా రూపొందించబడింది. వారి ప్రత్యేకమైన అర్ధ-చంద్రుని కాన్ఫిగరేషన్ వాటిని సులభంగా ఇన్‌సర్ట్ చేయడానికి మరియు సిస్టమ్ నుండి తీసివేయడానికి అనుమతిస్తుంది, నిర్వహణ మరియు భర్తీ ప్రక్రియలను సమర్థత మరియు ఖచ్చితత్వంతో సులభతరం చేస్తుంది.

ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్‌లోని విడి భాగాలు బహుళ ప్రయోజనాలను అందిస్తాయి. ముందుగా, అవి ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్‌కు అవసరమైన వాయువుల నియంత్రిత డెలివరీలో సహాయపడతాయి. గ్యాస్ ప్రవాహ రేట్లు మరియు పంపిణీని నియంత్రించడం ద్వారా, అవి ఉపరితల ఉపరితలంపై సెమీకండక్టర్ పదార్థాల ఏకరీతి నిక్షేపణను నిర్ధారిస్తాయి, కావలసిన పదార్థ లక్షణాలను మరియు పరికర పనితీరును సాధించడంలో కీలకమైనవి.

ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్‌లోని విడి భాగాలు గ్రోత్ చాంబర్‌లోని ట్రే బేస్ యొక్క భ్రమణ కదలికకు దోహదం చేస్తాయి. ఎపిటాక్సియల్ పొరలలో అసమానతలు లేదా లోపాలు ఏర్పడకుండా నిరోధించడానికి, డిపాజిట్ చేయబడిన పదార్థాల పంపిణీని కూడా ప్రోత్సహించడానికి ఈ భ్రమణం కీలకమైనది.