MOCVD రియాక్టర్లకు ససెప్టర్లు

MOCVD రియాక్టర్‌ల కోసం సెమికోరెక్స్ ససెప్టర్లు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్‌లు మరియు ఎపిటాక్సీ సెమీకండక్టర్ వంటి వివిధ అప్లికేషన్‌ల కోసం సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఉపయోగించే అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తులు. మా ఉత్పత్తి గేర్ లేదా రింగ్ ఆకారంలో అందుబాటులో ఉంది మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకతను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, ఇది 1600°C వరకు ఉష్ణోగ్రత వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

MOCVD రియాక్టర్‌ల కోసం మా ససెప్టర్లు CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా అధిక-ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితులలో తయారు చేయబడతాయి, అధిక స్వచ్ఛతను నిర్ధారిస్తాయి. ఉత్పత్తి యొక్క ఉపరితలం దట్టమైనది, చక్కటి కణాలు మరియు అధిక కాఠిన్యం కలిగి ఉంటుంది, ఇది యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలకు తుప్పు-నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది.
MOCVD రియాక్టర్‌ల కోసం మా ససెప్టర్లు అన్ని ఉపరితలాలపై పూత ఉండేలా, పై తొక్కకుండా మరియు ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాను సాధించేలా రూపొందించబడ్డాయి. ఉత్పత్తి థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వానికి హామీ ఇస్తుంది మరియు ప్రక్రియ సమయంలో ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలు వ్యాప్తి చెందకుండా నిరోధిస్తుంది, అధిక-నాణ్యత ఫలితాలను నిర్ధారిస్తుంది.
సెమికోరెక్స్‌లో, మేము కస్టమర్ సంతృప్తికి ప్రాధాన్యతనిస్తాము మరియు తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన పరిష్కారాలను అందిస్తాము. మేము మీ దీర్ఘ-కాల భాగస్వామిగా మారడానికి, అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తులను మరియు అసాధారణమైన కస్టమర్ సేవను అందించడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.

MOCVD రియాక్టర్ల కోసం ససెప్టర్ల పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
SiC-CVD లక్షణాలు
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β దశ
సాంద్రత	g/cm ³	3.21
కాఠిన్యం	వికర్స్ కాఠిన్యం	2500
ధాన్యం పరిమాణం	μm	2~10
రసాయన స్వచ్ఛత	%	99.99995
ఉష్ణ సామర్థ్యం	J kg-1 K-1	640
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	℃	2700
Felexural బలం	MPa (RT 4-పాయింట్)	415
యంగ్స్ మాడ్యులస్	Gpa (4pt బెండ్, 1300℃)	430
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ఉష్ణ వాహకత	(W/mK)	300

MOCVD కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క లక్షణాలు

- పై తొక్కను నివారించండి మరియు అన్ని ఉపరితలంపై పూత ఉండేలా చూసుకోండి
అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత: 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది
అధిక స్వచ్ఛత: అధిక ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది.
తుప్పు నిరోధకత: అధిక కాఠిన్యం, దట్టమైన ఉపరితలం మరియు చక్కటి కణాలు.
తుప్పు నిరోధకత: యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలు.
- ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించండి
- థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వానికి హామీ ఇవ్వండి
- ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలు వ్యాప్తి చెందకుండా నిరోధించండి